[发明专利]柔性光电器件及制作方法在审
申请号: | 202011585647.7 | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN114695664A | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 韩云飞;张浩;潘伟;王振国;闫翎鹏;龚超;骆群;林剑;马昌期 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | H01L51/42 | 分类号: | H01L51/42;H01L51/44;H01L51/48 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王锋 |
地址: | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 光电 器件 制作方法 | ||
1.一种柔性光电器件,包括沿设定方向依次设置在透光绝缘基底上的第一电极、功能层和第二电极,其中所述第一电极为透明电极,其特征在于还包括设置在所述透光绝缘基底上的第三电极,所述第三电极与第一电极电性接触,所述第三电极能够通过导电通道与另一柔性光电器件的第一电极或第二电极电连接,所述导电通道包括沿设定方向贯穿所述透光绝缘基底的一个以上通孔,并且所述通孔内填充有导电物质。
2.根据权利要求1所述的柔性光电器件,其特征在于:所述第三电极为一个或多个,其中一个或多个第三电极分布在第一电极周围,和/或,其中一个或多个第三电极的至少局部区域被第一电极围绕,和/或,其中一个或多个第三电极的至少局部区域被第一电极覆盖,和/或,其中一个或多个第三电极的至少局部区域叠设在第一电极上。
3.根据权利要求1所述的柔性光电器件,其特征在于:所述通孔沿设定方向连续贯穿所述第三电极和透光绝缘基底。
4.根据权利要求1所述的柔性光电器件,其特征在于:所述导电物质的来源包括银浆或导电胶。
5.根据权利要求1所述的柔性光电器件,其特征在于:所述第三电极为导电线条,且所述第三电极包围或半包围第二电极设置。
6.根据权利要求5所述的柔性光电器件,其特征在于:所述导电线条的宽度≤5mm,优选≤1mm;和/或,与所述第一电极相比,所述第三电极最高点的突起高度小于5μm,优选小于1μm;和/或,所述导电线条的等效方块电阻≤5Ω/sq,优选≤1Ω/sq。
7.根据权利要求1-6所述的柔性光电器件,其特征在于:所述柔性光电器件包括柔性薄膜发光二极管、柔性薄膜光伏电池或柔性薄膜光电探测器。
8.如权利要求1-7中任一项所述柔性光电器件的制作方法,包括在透光绝缘基底第一面依次制作第一电极、功能层、第二电极的步骤;其特征在于,所述的制作方法还包括:
在透光绝缘基底第一面设置第三电极,并使所述第三电极与第一电极电性接触;
在透光绝缘基底上与第三电极相应区域内加工形成沿厚度方向贯穿透光绝缘基底的一个以上通孔,并在透光绝缘基底第一面或与第一面相背对的第二面施加导电浆料,且使部分的导电浆料填充入所述通孔,从而在所述透光绝缘基底内形成导电通道,所述导电通道能够将所述第三电极与另一柔性光电器件的第一电极或第二电极电连接。
9.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于具体包括:在透光绝缘基底第一面设置第三电极,并对所述第三电极和绝缘衬底进行加工,从而形成连续贯穿第三电极及绝缘衬底的所述通孔,且所述通孔完全由导电浆料填充。
10.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于具体包括:
在透光绝缘基底上与第三电极相应区域加工出所述通孔;
在所述透光绝缘基底的第二面施加包含第一导电材料的导电浆料,并使部分的导电浆料进入所述通孔且到达设定位置,所述选定位置位于所述通孔的两端之间,其中进入所述通孔的所述导电浆料能够形成第一导电体;
以第二导电材料在所述透光绝缘基底第一面形成第三电极,并使部分的第二导电材料进入所述通孔形成第二导电体;
令所述第二导电体与第一导电体电性结合,从而在所述透光绝缘基底内形成所述导电通道。
11.根据权利要求10所述的制作方法,其特征在于还包括:使分布在所述透光绝缘基底第二面的导电浆料与另一柔性光电器件的第一电极或第二电极接触。
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