[发明专利]用于晶带轴自动对准的方法和系统

权利要求书

1.一种用于晶带轴对准的方法，其包括：

将带电粒子束引向样品；

获取所述样品的衍射图样；

使用训练后的网络，分割所述衍射图样的对应于劳厄圆的区域；

基于所分割区域确定晶带轴倾斜；以及

基于所确定的晶带轴倾斜来倾斜所述样品。

2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：确定所述分割区域的形状；以及响应于所述分割区域的所述形状是圆形，基于所述分割区域来确定所述晶带轴倾斜。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其进一步包括：分割所述衍射图样的对应于直射束的第二区域；以及进一步基于所述第二区域来确定所述晶带轴倾斜。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述带电粒子束是会聚带电粒子束。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述带电粒子束是平行带电粒子束。

6.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：利用所述带电粒子束获取的多个衍射图样来训练网络。

7.根据权利要求1或6所述的方法，其进一步包括：利用第二样品的多个衍射图样来训练网络，所述第二样品的曲率小于所述样品的曲率。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，利用所述第二样品的所述多个衍射图样来训练所述网络包含：

通过沿着具有已知倾斜角的两个正交轴倾斜所述第二样品来获取所述第二样品的所述多个衍射图样；

基于所述已知倾斜角在所述多个衍射图样中注释直射束和所述劳厄圆；以及

利用所获取的多个衍射图样和多个带注释的衍射图样来训练所述网络。

9. 根据权利要求8所述的方法，其中，利用所获取的多个衍射图样和所述多个带注释的衍射图样来训练所述网络包含：

将所述多个衍射图样输入到所述网络；以及

通过将所述网络的输出与所述多个带注释的衍射图样进行比较来调节所述网络的参数。

10.一种用于晶带轴对准的方法，其包括：

将会聚带电粒子束引向样品；

获取所述样品的衍射图样；

使用训练后的网络，在所述衍射图样中分割对应于劳厄圆的第一区域且在所述衍射图样中分割对应于直射束的第二区域；

基于所述第一区域和所述第二区域确定晶带轴倾斜；以及

基于所确定的晶带轴倾斜来倾斜所述样品。

11. 根据权利要求10所述的方法，其进一步包括：

获取包含多个衍射图样的衍射图样倾斜序列；通过在所述衍射图样倾斜序列的每个衍射图样中注释所述直射束和所述劳厄圆来注释所述衍射图样倾斜序列；以及

使用所获取的衍射图样倾斜序列和带注释的衍射图样倾斜序列来训练所述网络。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，带注释的直射束和带注释的劳厄圆是圆。

13.根据权利要求10至12中的任一项所述的方法，其进一步包括：基于所述第一区域和所述第二区域来确定质量因子；且基于所述第一区域和所述第二区域来确定晶带轴倾斜包含响应于所述质量因子而确定所述晶带轴倾斜。

14.根据权利要求13所述的方法，基于所述第一区域和所述第二区域来确定所述质量因子包含基于所述第一区域和所述第二区域之间的重叠程度来确定所述质量因子。

15.根据权利要求13所述的方法，基于所述第一区域和所述第二区域来确定所述质量因子包含基于所述第一区域的形状来确定所述质量因子。