[发明专利]针对重复率相关性能变量的在线校准

权利要求书

1.一种系统，包括：

测量模块，被配置为记录至少一个性能特性相对于脉冲式激光器的脉冲重复率的依赖性；

比较模块，可操作地连接到所述测量模块，并且被配置为至少部分地基于所记录的依赖性和规范标准来标识所述脉冲式激光器的允许的脉冲重复率集合；以及

输出，可操作地连接到所述比较模块，并且被配置为将所述允许的脉冲重复率集合传送到光刻工具的扫描仪。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个性能特性是能量稳定性。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个性能特性是带宽稳定性。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个性能特性是波长稳定性。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个操作参数是射束形状稳定性。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个操作参数是致动器输出。