[发明专利]一种多探针电容位移传感器和表面测量方法

权利要求书

1.一种多探针电容位移传感器，其特征在于，包括多探针测头、计量单元和直线直驱电机，所述多探针测头与所述直线直驱电机连接，所述计量单元位于直线直驱电机上方，用于测量直线直驱电机带动多探针测头的位移量；所述多探针测头包括阵列式探针、下固定板、弹簧、探针连接片、上固定板、探头座和第一反射镜；所述下固定板、弹簧、探针连接片、上固定板及第一反射镜自下而上固定在所述探头座上；所述阵列式探针固定在所述探针连接片上；所述探针连接片和所述上固定板之间的阵列式导电膜构成阵列式电容传感器，用于测量阵列式探针相对多探针测头的位移。

2.如权利要求1所述多探针电容位移传感器，其特征在于，所述直线直驱电机包括直线直驱电机定子、直线直驱电机动子、直线直驱电机定子线圈和直线直驱电机动子磁铁；所述直线直驱电机定子线圈安装在直线直驱电机定子上，所述直线直驱电机动子磁铁安装在直线直驱电机动子上，所述直线直驱电机动子通过连接件与多探针测头连接。

3.如权利要求1所述多探针电容位移传感器，其特征在于，所述阵列式探针为金刚石触针、硬质合金触针或硅扫描探针。

4.如权利要求1所述多探针电容位移传感器，其特征在于，所述探针连接片上阵列式分布对称簧片柔性铰链结构，每个柔性铰链结构的上表面镀有导电膜。

5.如权利要求1所述多探针电容位移传感器，其特征在于，所述上固定板在与所述探针连接片的阵列柔性铰链结构对应位置处的下表面镀有导电膜。

6.如权利要求1所述多探针电容位移传感器，其特征在于，所述计量单元包括第二反射镜、第一波片、偏振分光镜、第一偏振片、光电探测器、激光器及第二波片；所述激光器、所述偏振分光镜、所述第一波片、所述第二反射镜自右向左依次间隔设置；所述第二波片在所述偏振分光镜下方设置；所述第一偏振片、所述光电探测器自下向上在所述偏振分光镜上方设置；所述第一波片及第二波片均为1/4波片。

7.一种表面测量方法，其特征在于，该测量方法是采用权利要求1至6任一项所述的多探针电容位移传感器进行测量。