[发明专利]一种碳化硅半导体生产用的单晶炉

权利要求书

1.一种碳化硅半导体生产用的单晶炉，包括保温密封仓主体(1)、电机(17)和密封盖(23)，其特征在于：所述保温密封仓主体(1)底部的两侧皆安装有支撑脚(2)，且保温密封仓主体(1)一侧的底部连通有进出气管(3)，所述进出气管(3)的外侧安装有阀门(4)，所述保温密封仓主体(1)两侧的顶部皆开设有限位槽(9)，所述保温密封仓主体(1)内部底部的中间位置处贯穿有支撑轴(10)，所述支撑脚(2)与支撑轴(10)之间的保温密封仓主体(1)上皆固定有安装筒(13)，所述安装筒(13)的内部贯穿有活动杆(14)，且活动杆(14)与安装筒(13)之间连接有第一弹簧(15)，所述活动杆(14)的底端安装有安装板(16)，且安装板(16)顶部的中间位置处安装有电机(17)，所述电机(17)的输出端连接有传动轴(18)，且传动轴(18)延伸至支撑轴(10)的内部，所述传动轴(18)与支撑轴(10)之间连接有第二弹簧(19)，所述保温密封仓主体(1)顶部的边缘处开设有密封槽(20)，且密封槽(20)的内部设置有环形密封垫(21)，所述环形密封垫(21)的顶部均匀安装有第三弹簧(22)，且第三弹簧(22)的顶端安装有密封盖(23)，所述密封盖(23)的顶部安装有装置仓(24)，且正反丝杆(25)内部的一侧贯穿有正反丝杆(25)，所述正反丝杆(25)靠近两端的外侧皆套设有活动板(26)，且活动板(26)贯穿装置仓(24)，所述活动板(26)靠近保温密封仓主体(1)一侧的底部固定有挤压限位件(27)，且挤压限位件(27)延伸至限位槽(9)的内部；

所述保温密封仓主体(1)远离进出气管(3)一侧的底部安装有显示操作机构(5)，所述显示操作机构(5)靠近保温密封仓主体(1)的一侧固定有温度检测机构端头(6)，且温度检测机构端头(6)延伸至保温密封仓主体(1)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用的单晶炉，其特征在于：所述保温密封仓主体(1)的内壁安装有导热仓(7)，且导热仓(7)的内部固定有石墨加热机构(8)。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用的单晶炉，其特征在于：所述支撑轴(10)的顶端安装有支撑筒(11)，且支撑筒(11)的内部设置有原料坩埚(12)。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用的单晶炉，其特征在于：所述传动轴(18)的横截面形状为方形，且传动轴(18)与支撑轴(10)之间组成相对滑动结构。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用的单晶炉，其特征在于：所述活动板(26)与正反丝杆(25)为螺纹连接，且活动板(26)与装置仓(24)组成相对滑动结构。