[发明专利]一种CIGS电池片不锈钢基底卷对卷表面快速检测系统

权利要求书

1.一种CIGS电池片不锈钢基底卷对卷表面快速检测系统，包括放卷轴和收卷轴，放卷轴和收卷轴之间收放输送基底卷材，其特征在于：放卷轴和收卷轴之间设有若干输送基底卷材的输送辊，其中两个相邻的输送辊之间设有表面检测系统，所述表面检测系统包括激光测距仪，激光测距仪垂直于基底卷材表面，所述激光测距仪与基底卷材表面之间设置有分光镜，所述分光镜将激光测距仪的激光分成用于激光测距的透射光束和用于平面度检测的反射光束，透射光束在基底卷材表面形成点投影，所述反射光束经过扩束镜、45度锥面镜后形成向锥面镜环周径向发散的线光源，线光源倾斜投射到基底卷材表面形成线投影，所述线投影的上方设有表面缺陷检测相机；所述45度锥面镜与扩束镜同轴设置，45度锥面镜为圆柱体，圆柱体朝向扩束镜的一端环周45度倒角形成环形锥面，所述反射光束经扩束镜后的光束宽度不小于45度锥面镜的圆柱体直径。

2.根据权利要求1所述的一种CIGS电池片不锈钢基底卷对卷表面快速检测系统，其特征在于：所述分光镜与基底卷材表面的夹角为45度，所述分光镜和扩束镜之间设有第一反射镜，所述第一反射镜与基底卷材表面的夹角为15-30度。

3.根据权利要求1或2所述的一种CIGS电池片不锈钢基底卷对卷表面快速检测系统，其特征在于：所述激光测距仪包括激光投射镜头和激光回射镜头，激光投射镜头下方设置分光镜，激光回射镜头下方设置第二反射镜，第二反射镜与分光镜平行。

4.根据权利要求1或2所述的一种CIGS电池片不锈钢基底卷对卷表面快速检测系统，其特征在于：所述表面检测系统设置在最靠近收卷轴的两个输送辊之间。

5.根据权利要求4所述的一种CIGS电池片不锈钢基底卷对卷表面快速检测系统，其特征在于：最靠近收卷轴的两个输送辊之间的基底卷材朝上设置。

6.根据权利要求1或2所述的一种CIGS电池片不锈钢基底卷对卷表面快速检测系统，其特征在于：所述表面缺陷检测相机的镜头垂直于基底卷材表面。