[发明专利]一种基于方华膜无损转移二维材料的方法有效

专利信息
申请号: 202011589612.0 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112520715B 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 周琳;朱丽菁 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: C01B25/02 分类号: C01B25/02;C01B19/04;B82Y30/00
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 杨元焱
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 方华膜 无损 转移 二维 材料 方法
【权利要求书】:

1.一种基于方华膜无损转移二维材料的方法,其特征在于,将不同基底上的二维材料,通过方华膜无损转移到目标基底或TEM支撑网上,所述方华膜是由聚乙烯醇缩甲醛形成,

当通过方华膜将不同基底上的二维材料无损转移到目标基底时,包括如下步骤:

(1)在基底上制备二维材料;

(2)将聚乙烯醇缩甲醛溶于溶剂A中配制方华膜溶液;

(3)将步骤(2)配制好的方华膜溶液旋涂在步骤(1)制备的二维材料上;

(4)用溶剂B辅助方华膜/二维材料和基底分离,并用目标基底从溶剂B中捞取方华膜/二维材料,得到方华膜/二维材料/目标基底;

(5)将步骤(4)得到的方华膜/二维材料/目标基底干燥,之后再用溶剂A溶解方华膜,二维材料转移完成;

步骤(2)所述溶剂A为对聚乙烯醇缩甲醛具有溶解性的溶剂;

步骤(4)所述溶剂B为乙二醇或异丙醇;

当基于方华膜制备二维材料TEM样品时,采用如下步骤:

步骤1:用化学气相沉积法或者机械剥离法在基底上制备二维材料;

步骤2:在二维材料样品区域滴一滴异丙醇溶液,将带有方华膜的TEM铜网贴在样品区;

步骤3:待样品与方华膜贴紧后,在TEM铜网四周滴加异丙醇溶液,使方华膜TEM铜网与样品分离,即得到二维材料TEM样品。

2.根据权利要求1所述的一种基于方华膜无损转移二维材料的方法,其特征在于,步骤(1)通过化学气相沉积法或者机械剥离法在基底上制备二维材料。

3.根据权利要求1所述的一种基于方华膜无损转移二维材料的方法,其特征在于,所述溶剂A为二氯乙烷或三氯甲烷。

4.根据权利要求1所述的一种基于方华膜无损转移二维材料的方法,其特征在于,步骤(3)用刀片刮除样品四周多余的方华膜。

5.根据权利要求1所述的一种基于方华膜无损转移二维材料的方法,其特征在于,步骤(5)所述干燥为60℃烘箱干燥4h,对于二维敏感材料,应使用无水溶剂B,步骤(3)、(4)、(5)在手套箱中操作。

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