[发明专利]一种基于方华膜无损转移二维材料的方法有效
申请号: | 202011589612.0 | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN112520715B | 公开(公告)日: | 2022-12-27 |
发明(设计)人: | 周琳;朱丽菁 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | C01B25/02 | 分类号: | C01B25/02;C01B19/04;B82Y30/00 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 杨元焱 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 方华膜 无损 转移 二维 材料 方法 | ||
1.一种基于方华膜无损转移二维材料的方法,其特征在于,将不同基底上的二维材料,通过方华膜无损转移到目标基底或TEM支撑网上,所述方华膜是由聚乙烯醇缩甲醛形成,
当通过方华膜将不同基底上的二维材料无损转移到目标基底时,包括如下步骤:
(1)在基底上制备二维材料;
(2)将聚乙烯醇缩甲醛溶于溶剂A中配制方华膜溶液;
(3)将步骤(2)配制好的方华膜溶液旋涂在步骤(1)制备的二维材料上;
(4)用溶剂B辅助方华膜/二维材料和基底分离,并用目标基底从溶剂B中捞取方华膜/二维材料,得到方华膜/二维材料/目标基底;
(5)将步骤(4)得到的方华膜/二维材料/目标基底干燥,之后再用溶剂A溶解方华膜,二维材料转移完成;
步骤(2)所述溶剂A为对聚乙烯醇缩甲醛具有溶解性的溶剂;
步骤(4)所述溶剂B为乙二醇或异丙醇;
当基于方华膜制备二维材料TEM样品时,采用如下步骤:
步骤1:用化学气相沉积法或者机械剥离法在基底上制备二维材料;
步骤2:在二维材料样品区域滴一滴异丙醇溶液,将带有方华膜的TEM铜网贴在样品区;
步骤3:待样品与方华膜贴紧后,在TEM铜网四周滴加异丙醇溶液,使方华膜TEM铜网与样品分离,即得到二维材料TEM样品。
2.根据权利要求1所述的一种基于方华膜无损转移二维材料的方法,其特征在于,步骤(1)通过化学气相沉积法或者机械剥离法在基底上制备二维材料。
3.根据权利要求1所述的一种基于方华膜无损转移二维材料的方法,其特征在于,所述溶剂A为二氯乙烷或三氯甲烷。
4.根据权利要求1所述的一种基于方华膜无损转移二维材料的方法,其特征在于,步骤(3)用刀片刮除样品四周多余的方华膜。
5.根据权利要求1所述的一种基于方华膜无损转移二维材料的方法,其特征在于,步骤(5)所述干燥为60℃烘箱干燥4h,对于二维敏感材料,应使用无水溶剂B,步骤(3)、(4)、(5)在手套箱中操作。
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