[发明专利]一种玻璃基板翘曲缺陷检测方法、装置及其系统

权利要求书

1.一种玻璃基板翘曲缺陷检测方法，其特征在于：所述检测方法包括以下步骤：

步骤一：按照光学成像原理对检测装置预先进行安装固定；

步骤二：从基板产线上抽取基板样品并放置在检测装置中；

步骤三：对基板样品表面成像进行图像采集；

步骤四：对采集结果进行图像预处理；

步骤五：对预处理后的结果进行特征点提取；

步骤六：对提取的各特征结果进行形变量计算；

步骤七：根据形变量计算结果绘制热力图；

步骤八：遍历特征点并比较形变量，获取形变量最大值和最值特征点，计算输出特征点实际位置对应的横纵坐标和缺陷等级。

2.根据权利要求1所述的一种玻璃基板翘曲缺陷检测方法，其特征在于：所述步骤四中图像预处理包括畸变矫正、去噪、图像增强；

所述步骤五中特征点提取包括角点提取和中心点提取。

3.根据权利要求1所述的一种玻璃基板翘曲缺陷检测装置，其特征在于：所述检测装置包括固定安装的背景板(1)、载物板(2)、相机(3)，背景板(1)与载物板(2)左右相对分布，背景板(1)向外有0—15°的倾角，分布在相机(3)上方，载物板(2)呈5-20°倾斜分布，用于对基板样品(4)进行放置，背景板(1)表面覆有黑白棋盘格或格栅网格，相机(3)用于对基板样品(4)样品表面的成像进行图像采集。

4.根据权利要求3所述的一种玻璃基板翘曲缺陷检测装置，其特征在于：所述载物板(2)表面均布有凹槽或气孔。

5.根据权利要求1所述的一种玻璃基板翘曲缺陷检测系统，其特征在于：包括图像采集模块、图像预处理模块、特征点提取模块、数据处理模块、数据显示模块，

所述图像采集模块用于对基板样品表面成像进行图像采集，形成原始图像信息并实时发送至图像预处理模块和数据处理模块；

所述图像预处理模块用于接收来自图像采集模块的采集结果，并进行图像预处理，然后将预处理结果实时发送至特征点提取模块；

所述特征点提取模块用于接收来自图像预处理模块的预处理结果，并进行特征点提取，然后将提取的各特征结果实时反馈至数据处理模块；

所述数据处理模块用于对提取的各特征结果进行形变量计算，并根据形变量计算结果形成对应的热力图数据，然后将热力图数据与原始图像信息打包发送至数据显示模块；

所述数据显示模块用于接收来自数据处理模块的热力图数据与原始图像信息进行实时显示。