[发明专利]一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法有效
| 申请号： | 202011593091.6 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112701023B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 郑辉;周珂;张阳;郑梁;郑鹏 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J1/304 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 陆永强 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 透明 发射 阴极 制备 方法 | ||
1.一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1）在柔性透明基底上沉积导电透明金膜；
（2）在沉积金膜的基底上附着AAO模板；
（3）利用真空物理沉积技术制备得spindt型金属阵列；
（4）去除AAO模板，得到场发射阴极材料。
2.根据权利要求1所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，所制备的柔性透明场发射冷阴极包括：耐高温柔性透明基底，导电透明金膜，以及沉积在导电透明金膜上的spindt型金属阵列。
3.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，基底材料采用耐高温柔性透明材料。
4.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，在步骤（1）中，基底采用乙醇进行超声波清洗。
5.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，在步骤（2）中，用滴管吸取适量乙醇，滴在基底上，在乙醇完全挥发前，将AAO模板 贴附到基底上。
6.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，在步骤（3）中，沉积技术选用磁控溅射技术、脉冲激光沉积技术或电子束蒸发技术任一种。
7.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，在步骤（3）中，沉积的金属选择功函数较小的金属，其形状为spindt型。
8.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，步骤（4）中，使用胶带将AAO模板粘掉，得到柔性透明场发射冷阴极。
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