[发明专利]一种用于圆柱靶的测量装置及测量方法在审

专利信息
申请号: 202011594035.4 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112731229A 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 唐智;徐长亮 申请(专利权)人: 纳峰真空镀膜(上海)有限公司
主分类号: G01R33/10 分类号: G01R33/10;G01R33/12;G01B11/27;G01B11/00;G01S17/42
代理公司: 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 代理人: 张磊
地址: 201700 上海市青浦区青*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 圆柱 测量 装置 测量方法
【权利要求书】:

1.一种用于圆柱靶的测量装置,其特征在于,包括:

支撑机构,其被配置为能够提供使圆柱靶保持水平的可转动支撑;

第一驱动模组,其被配置为能够驱动使所述圆柱靶在所述支撑机构上作轴向转动;

第二驱动模组,其被配置为能够携带检测单元作相对于所述圆柱靶的多轴运动,以对所述圆柱靶进行测量。

2.根据权利要求1所述的用于圆柱靶的测量装置,其特征在于,所述第一驱动模组包括依次连接的转动驱动机构、传动机构和夹持机构,所述传动机构套设于位于所述圆柱靶一端的靶头上,并通过所述夹持机构与所述圆柱靶相固定,所述转动驱动机构驱动所述传动机构转动,带动所述夹持机构及被其固定的所述圆柱靶在所述支撑机构上作轴向转动。

3.根据权利要求2所述的用于圆柱靶的测量装置,其特征在于,所述传动机构包括一第一齿轮和两个第二齿轮,所述第一齿轮套设于所述圆柱靶的靶头上,所述夹持机构设于所述第一齿轮的侧面上,两个所述第二齿轮对应设于所述第一齿轮的斜下方,所述第一齿轮和第二齿轮上共同套设有一与其相配合的齿形传送带,所述转动驱动机构与所述第二齿轮中的其中一个相连。

4.根据权利要求3所述的用于圆柱靶的测量装置,其特征在于,所述夹持机构包括设于所述第一齿轮的第一侧面上的活动卡环,和设于所述第一齿轮相对的第二侧面上的活动靠压部,其中,所述第一侧面为相对所述靶头的一面,所述卡环用于对所述靶头的外周进行固定,所述靠压部用于对由所述靶头中伸出的设于中空的所述圆柱靶内的磁芯的端部外周进行靠压以约束其的相对转动。

5.根据权利要求1或2所述的用于圆柱靶的测量装置,其特征在于,所述支撑机构包括两对转轮,两对所述转轮被配置为分别自所述圆柱靶的靶头端侧和靶尾端侧的下方对所述圆柱靶提供可转动的支撑。

6.根据权利要求1所述的用于圆柱靶的测量装置,其特征在于,所述第二驱动模组包括依次正交相连的z向平移机构、x向平移机构和y向升降机构;其中,所述z向平移机构被配置为能够带动所述x向平移机构作相对于所述圆柱靶轴向的水平移动,所述x向平移机构被配置为能够带动所述y向升降机构作相对于所述圆柱靶轴向的正交方向的水平移动,所述y向升降机构被配置为能够带动所述检测单元作相对于所述圆柱靶轴向的正交方向的垂直移动。

7.根据权利要求6所述的用于圆柱靶的测量装置,其特征在于,所述z向平移机构包括z向电缸,所述x向平移机构包括x向电缸,所述y向升降机构包括y向电缸,所述x向电缸设于所述z向电缸的滑块上,所述y向电缸设于所述x向电缸的滑块上,所述检测单元设于所述y向电缸的滑块上。

8.根据权利要求1、6或7所述的用于圆柱靶的测量装置,其特征在于,所述检测单元包括测距单元,所述测距单元包括测距仪,用于检测所述圆柱靶的直线度;或者,所述检测单元还包括磁场强度检测单元,所述磁场强度检测单元包括特斯拉计,用于检测所述圆柱靶的磁场强度,所述特斯拉计与所述测距仪处于同一水平基准线上。

9.根据权利要求2或3所述的用于圆柱靶的测量装置,其特征在于,所述转动驱动机构包括电机。

10.根据权利要求1所述的用于圆柱靶的测量装置,其特征在于,还包括:底座,用于在其上设置所述支撑机构、所述第一驱动模组和所述第二驱动模组;限位设于所述底座上,用于对所述圆柱靶的靶尾端进行轴向的限制。

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