[发明专利]一种光电探测器及其使用方法

权利要求书

1.一种光电探测器，其特征在于，其包括：

入射波导(1)，其用于传播信号光；

硅层(3)，其上设有锗吸收区(4)，所述锗吸收区(4)用于探测信号光，并将所述信号光转换为电信号；

聚焦型器件(2)，其用于将所述入射波导(1)的信号光聚焦至所述锗吸收区(4)正下方的硅层(3)，所述信号光经过聚焦型器件(2)到达所述锗吸收区(4)入射端时汇聚的光束的宽度大于所述锗吸收区(4)的宽度；

当所述聚焦型器件(2)为非均匀光栅(22)时，所述非均匀光栅(22)上设有多个刻蚀槽，以位于所述非均匀光栅中间的刻蚀槽为中心，多个刻蚀槽由中心向两侧对称分布；所述刻蚀槽在垂直于信号光入射方向上的宽度由中心向两侧逐渐增加；

当所述聚焦型器件(2)为第一透镜结构(23)，所述第一透镜结构(23)通过刻蚀形成有环形刻蚀槽。

2.一种基于权利要求1所述的光电探测器的使用方法，其特征在于，其包括步骤：

信号光由入射波导(1)进入聚焦型器件(2)；

所述聚焦型器件(2)将所述信号光聚焦至锗吸收区(4)正下方的硅层(3)，并使信号光到达所述锗吸收区(4)入射端时汇聚的光束的宽度大于所述锗吸收区(4)的宽度；

所述锗吸收区(4)将所述信号光转换为电信号。