[发明专利]一种银钯铟靶材废料提纯再生银钯的方法

说明书

本发明提供了一种银钯铟靶材废料提纯再生银钯的方法，属于金属分离回收领域。本发明进行真空蒸馏以使银钯铟靶材废料熔化并使铟气化，剩余熔体即为银钯合金。与现有技术相比，本发明不需进行酸浸，没有废酸和废水产生，工艺简单、快速高效、设备投入低，能使所得银钯合金中铟的质量含量降到非常低，如30ppm以下，可以将其继续用于加工银钯铜锗、银钯铜等靶材，并且整个过程中，银钯损失率非常低，如达到小于0.6％。

技术领域

本发明属于金属分离回收领域，具体涉及一种银钯铟靶材废料提纯再生银钯的方法。

背景技术

电子工业的飞速发展，贵金属银钯因其优异的性能，在电子元器件领域具有很高的使用价值和经济价值。但稀贵金属资源相对匮乏，所以稀贵金属回收和综合利用尤为重要。

目前工业中从银钯合金中回收银钯的工艺方法主要有硝酸溶解-盐酸沉银-二氯二氨络亚钯法提纯-水合肼还原工艺回收银钯、王水溶解-钯络合-氯化沉淀回收废料中的钯和熔炼电解银-硝酸溶解-氯化铵沉钯等。然而银钯合金废料用硝酸溶解后，在氯化沉银过程中，因产生的微米级氯化银沉淀容易包覆或者裹挟其他贵金属离子，而造成其他贵金属的损失，且后期需要多次清洗、重新溶解等过程，都会产生大量废水，造成环境压力。而电解回收银过程中，也需要多次铸造、电解阳极板，且银电解不彻底，得到富含贵金属阳极泥仍需进一步回收其中的贵金属，过程繁琐，回收时间长，设备要求高。

银钯铟靶材为常用的一种合金靶材，如何从银钯铟靶材废料中简单、快速、有效、低成本、环境友好的回收银钯成为亟待解决的难题。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的不足之处而提供从一种银钯铟靶材废料提纯再生银钯的方法。

为实现上述目的，本发明提供了一种银钯铟靶材废料提纯再生银钯的方法，其包括以下步骤：真空蒸馏以使银钯铟靶材废料熔化并使铟气化，剩余固体即为银钯合金。

上述方法采用真空蒸馏的方法使银钯铟靶材废料熔化并使铟气化，而银和钯沸点较高，仍为熔体，从而实现银钯与铟分离，回收得到银钯。与现有技术相比，上述制备方法不需进行酸浸，没有废酸和废水产生，工艺简单、快速高效、设备投入低，能使所得银钯合金中铟的质量含量降到非常低，如30ppm以下，可以将其继续用于加工银钯铜锗、银钯铜等靶材，并且整个过程中，银钯损失率非常低，如达到小于0.6％。

优选地，真空蒸馏的真空度为0.05-0.1Pa，温度为1000-1100℃。在该条件下，所得银钯合金中铟的质量含量能降至30ppm以下，且银钯损失率小于0.6％。

优选地，真空蒸馏的时间为30-50min。

优选地，所述银钯铟靶材废料中铟的质量含量为4000ppm-6000ppm。

优选地，所述银钯合金中铟的质量含量在30ppm以下。

优选地，在进行所述真空蒸馏之前，先对所述银钯铟靶材废料进行预热，以除去挥发性杂质。

优选地，所述预热的温度为200-300℃。

优选地，所述预热在保护气保护下或真空条件下进行。保护气可以选择氮气、惰性气体中的至少一种。通入保护气的时间可根据排除空气的情况进行调整。在一些实施方式中，通入保护气的时间为30-60min。

优选地，所述真空蒸馏和所述预热均在感应熔炼炉中进行。感应熔炼炉相比普通炉子加热速率更快，控温性能也更好。

优选地，所述步骤(1)中，银钯铟靶材废料为块状。银钯铟靶材废料并不局限于块状，也可以为其他形状，如粉状、颗粒状等。

相比现有技术，本发明的有益效果在于：与现有技术相比，本发明不需进行酸浸，没有废酸和废水产生，工艺简单、快速高效、设备投入低，实现了银钯的快速高效的回用，降低了贵金属废料囤积的压力，并使资源有效循环利用。