[发明专利]一种剥离工作台有效

专利信息
申请号: 202011599003.3 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112873137B 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 杨志;靳卫国;朱林涛 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: B25H1/00 分类号: B25H1/00;B25H1/14;B25H1/16;H01G13/00
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 张鹏
地址: 100176 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 剥离 工作台
【权利要求书】:

1.一种剥离工作台,其特征在于,包括剥离台、Y向运动机构、水平向调节结构和Z向调节结构;

所述剥离台通过所述Z向调节结构设置在所述Y向运动机构的输出端上;所述Y向运动机构固定在外部传输机构上,用于为所述剥离台提供Y向的运动;所述Z向调节结构能够实现Z向的调节;所述水平向调节结构设置在所述Z向调节结构沿Y向上的一侧,能够实现水平向的调节;

所述Y向运动机构包括承载底板、滑轨滑块组件和丝杠驱动组件;

所述承载底板设置在所述滑轨滑块组件上;所述丝杠驱动组件与所述滑轨滑块组件连接,用于驱动所述滑轨滑块组件中的滑块在其滑轨上滑动,从而带动所述承载底板做Y向运动;

所述Z向调节结构包括连接中板、高度调节旋钮;所述连接中板位于所述剥离台与所述承载底板之间;

所述高度调节旋钮呈圆板状,所述高度调节旋钮相对应的两侧板面的中部分别向两侧板面的外部延伸出第一连接杆和第二连接杆;

所述第一连接杆穿过所述剥离台,其伸出端的端部设置固定盖,沿所述固定盖的周向设置有球头柱塞;所述第二连接杆穿过所述连接中板,并与所述连接中板螺纹连接;所述第二连接杆的穿出端的端部设置法兰螺母,所述法兰螺母与所述连接中板之间设置消隙弹簧;

所述剥离工作台还包括直线轴承、空心导柱和导向柱连接螺钉;

所述直线轴承设置在所述连接中板上;所述空心导柱穿过所述直线轴承,并通过所述导向柱连接螺钉与所述剥离台连接;

所述空心导柱远离所述剥离台的一端套设有预紧弹簧,所述预紧弹簧的两端通过设置在所述空心导柱上的预紧弹簧挡板限位。

2.根据权利要求1所述的剥离工作台,其特征在于,所述水平向调节结构包括调节固定板、推板调节顶丝和拉力调节螺钉;

所述调节固定板抵靠在所述连接中板沿X向上的一侧,并固定在所述承载底板上;

所述推板调节顶丝穿过所述调节固定板与所述连接中板抵接;所述拉力调节螺钉穿过所述调节固定板与所述连接中板抵接;所述拉力调节螺钉的钉头到所述调节固定板之间还套设有拉板弹簧和弹簧挡圈。

3.根据权利要求1所述的剥离工作台,其特征在于,所述剥离台出料一侧的边缘上设置有棱边。

4.根据权利要求1所述的剥离工作台,其特征在于,所述剥离台的内部设置纵横交错的冷却水路。

5.根据权利要求1所述的剥离工作台,其特征在于,所述剥离台的台面均布设置多个真空吸附孔;

所述真空吸附孔与外部真空设备的真空管连通。

6.根据权利要求1所述的剥离工作台,其特征在于,所述剥离工作台还包括安装座和中板连接螺钉;

所述安装座设置在所述承载底板上,所述中板连接螺钉穿过所述安装座与所述连接中板螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的剥离工作台,其特征在于,所述Z向调节结构的数量为四个;

四个所述Z向调节结构对应所述剥离台的四个角设置。

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