[发明专利]一种铝硅合金靶坯的制备方法有效
| 申请号： | 202011599465.5 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112809002B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李岢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/10 | 分类号： | B22F3/10;C22C1/04;C23C14/14;C23C14/34;C22C21/02 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 方法 | ||
1.一种铝硅合金靶坯的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：将铝硅合金粉末放入模具中进行烧结；
所述烧结包括依次进行的第一升温、第一保温、第二升温、第二保温、第三升温、第三保温、第四升温、第四保温、第五升温、第五保温和保温保压；
所述第一保温的温度为100-120℃；所述第一升温的终点温度为所述第一保温的温度；
所述第二保温的温度为200-230℃；所述第二升温的终点温度为所述第二保温的温度；
所述第三保温的温度为300-320℃；所述第三升温的终点温度为所述第三保温的温度；
所述第四保温的温度为380-410℃；所述第四升温的终点温度为所述第四保温的温度；
所述第五保温的温度为450-470℃；所述第五升温的终点温度为所述第五保温的温度；
所述保温保压中的保温温度为所述第五保温的温度，所述保温保压为先在50-70min内加压至20-25MPa然后保温保压1.5-2h。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铝硅合金粉包括50-60%硅-铝合金粉。
3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述模具中粉料的平面度＜5mm。
4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述烧结开始前在放入模具后进行抽真空至绝对真空度≤40Pa。
5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述烧结结束后在保护气氛下进行冷却。
6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述保护气氛下烧结装置内的压强P为-0.08MPa≤P≤-0.06MPa。
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