[发明专利]射频传输四极杆电源电路及其控制方法、电源设备在审

专利信息
申请号: 202011602876.5 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112635288A 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 熊亮;张涛;朱辉;齐彦兵;王攀攀;范荣荣;黄晓;张伟 申请(专利权)人: 广州禾信仪器股份有限公司;昆山禾信质谱技术有限公司
主分类号: H01J49/02 分类号: H01J49/02;H01J49/06;H01J49/40;G01N27/62
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 何江涛
地址: 510700 广东省广州市黄埔区开源大道*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 射频 传输 四极杆 电源 电路 及其 控制 方法 设备
【权利要求书】:

1.一种射频传输四极杆电源电路,其特征在于,包括:控制装置、正弦波发生装置、放大装置、第一选通器件、第二选通器件、多个射频磁环变压器、射频传输四极杆和反馈调节装置,

所述控制装置连接所述正弦波发生装置,所述正弦波发生装置连接所述放大装置,所述放大装置连接所述第一选通器件,各所述射频磁环变压器的原边分别连接所述第一选通器件,各所述射频磁环变压器的副边分别连接所述第二选通器件,所述第二选通器件连接所述射频传输四极杆,所述射频传输四极杆连接所述反馈调节装置,所述反馈调节装置连接所述控制装置,所述反馈调节装置连接所述放大装置,所述放大装置、所述第一选通器件、各所述射频磁环变压器的副边抽头和所述第二选通器件分别连接所述控制装置。

2.根据权利要求1所述的射频传输四极杆电源电路,其特征在于,所述放大装置包括可变增益放大程控调幅器、同相多级放大电路和反相多级放大电路,所述可变增益放大程控调幅器连接所述正弦波发生装置和反馈调节装置,所述同相多级放大电路和所述反相多级放大电路分别连接所述可变增益放大程控调幅器,所述同相多级放大电路和所述反相多级放大电路分别连接所述第一选通器件,所述同相多级放大电路和所述反相多级放大电路分别连接所述控制装置。

3.根据权利要求2所述的射频传输四极杆电源电路,其特征在于,所述同相多级放大电路包括同相放大器、第一级功率放大器和第二级功率放大器,所述同相放大器连接可变增益放大程控调幅器,所述同相放大器连接所述第一级功率放大器,所述第一级功率放大器连接所述第二级功率放大器,所述第二级功率放大器连接所述第一选通器件,所述同相放大器、所述第一级功率放大器和所述第二级功率放大器分别连接所述控制装置;和/或,

所述反相多级放大电路包括反相放大器、第一级放大器和第二级放大器,所述反相放大器连接可变增益放大程控调幅器,所述反相放大器连接所述第一级放大器,所述第一级放大器连接所述第二级放大器,所述第二级放大器连接所述第一选通器件,所述反相放大器、所述第一级放大器和所述第二级放大器分别连接所述控制装置。

4.根据权利要求1-3任一项所述的射频传输四极杆电源电路,其特征在于,所述控制装置包括主控制器、功率供电和电流监测器、选通控制器以及中低压发生器,所述主控制器连接所述正弦波发生装置,所述反馈装置连接所述主控制器,所述功率供电和电流监测器、所述选通控制器以及所述中低压发生器分别连接所述主控制器,所述功率供电和电流监测器连接所述放大装置,所述选通控制器连接所述第一选通器件和所述第二选通器件,所述中低压发生器连接各所述射频磁环变压器的副边抽头。

5.根据权利要求4所述的射频传输四极杆电源电路,其特征在于,所述反馈调节装置包括检波电路、幅值监测器、数模控制器和比例积分调节器,所述检波电路连接所述射频传输四极杆,所述检波电路连接所述比例积分调节器和所述幅值监测器,所述幅值监测器和所述数模控制器分别连接所述控制装置,所述数模控制器连接所述比例积分调节器,所述比例积分调节器连接所述放大装置。

6.一种如权利要求1-5任一项所述的射频传输四极杆电源电路的控制方法,其特征在于,包括:

获取频率设定值;

根据所述频率设定值控制所述第一选通器件和所述第二选通器件选通对应的射频磁环变压器;

通过调整所述正弦波发生装置和所述反馈调节装置,得到射频传输四极杆电源电路最小功耗时的谐振频率。

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