[发明专利]用于氧化镓材料的微波退火改性方法

权利要求书

1.一种用于氧化镓材料的微波退火改性方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供一衬底，所述衬底表面具有由氧化镓层；

设置多个预设温度，依次在每一所述预设温度下对所述氧化镓层进行微波退火处理，所述预设温度低于扩散温度，所述扩散温度为所述氧化镓层中的氧化镓材料与所述衬底之间发生热扩散的最低温度。

2.根据权利要求1所述的用于氧化镓材料的微波退火改性方法，其特征在于，多个所述预设温度按照从低温到高温的顺序排列；

任意相邻两个所述预设温度之间的差值均相等；或者，

所述预设温度的温度越高，相邻所述预设温度之间的差值越小。

3.根据权利要求1所述的用于氧化镓材料的微波退火改性方法，其特征在于，依次在每一所述预设温度下对所述氧化镓层进行微波退火处理的具体步骤包括：

按照多个所述预设温度的高低顺序，依次在每一所述预设温度下对所述氧化镓层进行微波退火处理。

4.根据权利要求1所述的用于氧化镓材料的微波退火改性方法，其特征在于，在每一所述预设温度下对所述氧化镓层进行微波退火处理的具体步骤包括：

放置所述衬底至微波退火炉腔体内，并对所述微波退火炉腔体进行抽真空处理；

以所述预设温度作为最高温度对所述氧化镓层进行微波退火处理；

于所述微波退火炉腔体内冷却经所述微波退火处理的所述氧化镓层；

自所述微波退火炉腔体取出具有所述氧化镓层的衬底。

5.根据权利要求4所述的用于氧化镓材料的微波退火改性方法，其特征在于，以所述预设温度作为最高温度对所述氧化镓层进行微波退火处理之前，还包括如下步骤：

采用惰性气体对所述微波退火炉腔体进行吹扫，排除所述微波退火炉腔体内的杂质气体。

6.根据权利要求4所述的用于氧化镓材料的微波退火改性方法，其特征在于，以所述预设温度作为最高温度对所述氧化镓层进行微波退火处理的具体步骤包括：

设定微波退火参数并向所述微波退火炉腔体通入退火气氛，进行退火处理，所述微波退火参数中的最高退火温度为所述预设温度。

7.根据权利要求4所述的用于氧化镓材料的微波退火改性方法，其特征在于，所述退火气氛为氩气气氛或者氮气气氛。

8.根据权利要求4所述的用于氧化镓材料的微波退火改性方法，其特征在于，于所述微波退火炉腔体内冷却经所述微波退火处理的所述氧化镓层的具体步骤包括：

采用惰性气体对所述微波退火炉腔体进行吹扫，降低所述微波退火炉腔体的温度。

9.根据权利要求1所述的用于氧化镓材料的微波退火改性方法，其特征在于，所述预设温度为200℃-600℃。