[发明专利]一种高精度电容薄膜真空计

说明书

本发明提供了一种高精度电容薄膜真空计，包括:壳体,具有一容置腔;两个感应膜片，平行地设置在所述容置腔中，并把所述容置腔分隔为参考真空室和两个待测腔室，且两个所述待测腔室分别位于所述参考真空室的两侧；两个所述待测腔室之间连通，且均与所述参考真空室隔离；连接管，与其中一个待测腔室连通；固定基板，设在所述参考真空室中并与两个所述感应膜片平行；固定基板的两侧分别设置有导电膜，所述固定基板两侧的导电膜分别与相邻的感应膜片组成电容器；该电容薄膜真空计的测量精度和灵敏度较高。

技术领域

本发明涉及真空检测设备技术领域，尤其涉及一种高精度电容薄膜真空计。

背景技术

电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计，具有结构紧凑、灵敏度搞、稳定性好、测量值与气体成分无关、有较强的抗腐蚀性能及使用寿命长等特点，是半导体装备中的核心零部件。

一般的电容薄膜真空计的结构如图4所示，包括壳体1’、连接管2’、 感应膜片3’、固定电极4’、吸气机构5’、抽气口6’以及相应的信号转换电路，其中，感应膜片3’把壳体1’的内腔分隔为真空腔7’和检测腔8’， 吸气机构5’（内含消气剂）、抽气口6’与真空腔7’连通，连接管2’与检测腔8’连通。其工作原理是：感应膜片3’与固定电极4’连接外部电源后相当于电容的两个电极，通过连接管2’连接待检测对象（腔体或管道），然后对真空腔7’抽真空，使真空腔7’与检测腔8’之间产生压差而导致感应膜片3’变形，从而使真空腔7’与检测腔8’之间的距离产生变化，进而使电容发生变化，通过转换电路把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号；所以，它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关。

这种电容薄膜真空计的感压膜片与固定电极形成的平行板电容器传感组件电容值很小，为皮法级，因此压力变化引起的电容变化也很小，从而大大增加了电容信号的处理难度，影响电容薄膜真空计的精度和灵敏度。

发明内容

鉴于上述现有技术的不足之处，本发明的目的在于提供一种高精度电容薄膜真空计，其测量精度和灵敏度较高。

为了达到上述目的，本发明采取了以下技术方案：

一种高精度电容薄膜真空计，包括:

壳体, 具有一容置腔;

两个感应膜片，平行地设置在所述容置腔中，并把所述容置腔分隔为参考真空室和两个待测腔室，且两个所述待测腔室分别位于所述参考真空室的两侧；两个所述待测腔室之间连通，且均与所述参考真空室隔离；

连接管，与其中一个待测腔室连通；

固定基板，设在所述参考真空室中并与两个所述感应膜片平行；固定基板的两侧分别设置有导电膜，所述固定基板两侧的导电膜分别与相邻的感应膜片组成电容器。

所述的高精度电容薄膜真空计中，两个所述感应膜片与相应的导电膜之间的距离相等。

所述的高精度电容薄膜真空计，还包括引出电极，所述引出电极一端与所述所述固定基板两侧的导电膜连接，另一端伸出所述壳体外部。

进一步的，所述固定基板绝缘，所述固定基板中设置有导电体，所述导电体的两端分别与所述固定基板两侧的导电膜连接，所述引出电极一端与所述导电体连接。

所述的高精度电容薄膜真空计中，所述壳体的外侧连接有连通管，所述连通管用于连通两个所述待测腔室。

所述的高精度电容薄膜真空计中，所述壳体上还设置有抽气孔和吸气机构；所述抽气孔与所述参考真空室连通，并用于与外部的抽气装置连接；所述吸气机构包括与所述参考真空室连通的容纳腔，所述容纳腔内设置有消气剂。

所述的高精度电容薄膜真空计中，所述连接管根部设置有挡板，所述挡板上设置有多个筛孔。

所述的高精度电容薄膜真空计中，所述连接管外周面上设置有散热翎片。