[发明专利]一种MOCVD装置

权利要求书

1.一种MOCVD装置，其特征在于，包括气流分布调节机构，所述气流分布调节机构包括：

第一板(2)，所述第一板(2)包括由半径划分的多个第一区域和第二区域；所述第一区域内设置至少一个第一通风孔，所述第二区域内设置至少一个第二通风孔；由所述第一板(2)中心径向向外，所述第一区域的通风面积逐渐增大，所述第二区域的通风面积逐渐减小；

第二板(3)，第二板(3)包括第三通风孔和挡片，所述第二板(3)相对于所述第一板(2)在第一位置、第二位置之间转动；在第一位置，所述第三通风孔与所述第一通风孔连通，所述挡片挡住所述第二通风孔；在第二位置，所述第三通风孔与所述第二通风孔连通，所述挡片挡住所述第一通风孔。

2.如权利要求1所述的MOCVD装置，其特征在于，多个所述第一区域与第二区域由至少四条半径均匀划分，且所述半径的数量为偶数，每条半径的两侧为所述第一区域和第二区域。

3.如权利要求1所述的MOCVD装置，其特征在于，所述第一通风孔、第二通风孔为圆形通孔或矩形通孔。

4.如权利要求1所述的MOCVD装置，其特征在于，所述第一通风孔或/和第二通风孔均为梯形通孔；

所述第一通风孔的梯形通孔的短边朝向所述第一板(2)的中心设置；

所述第二通风孔的梯形通孔的长边朝向所述第一板(2)的中心设置。

5.如权利要求1至4任一项所述的MOCVD装置，其特征在于，所述第一区域、第二区域均为扇形，所述扇形的圆心角为90°、60°、45°或30°。

6.如权利要求5所述的MOCVD装置，其特征在于，所述第三通风孔与所述第一通风孔或所述第二通风孔的数量以及布置方式相同；

所述第三通风孔的最小尺寸大于等于所述第一通风孔和所述第二通风孔的最大尺寸的任一者。

7.如权利要求5所述的MOCVD装置，其特征在于，所述第一通风孔分散布置于所述第一区域内，所述第一区域内的第一通风孔的孔心连线为折线；

或者，所述第一区域内的第一通风孔的孔心共线，所述第一通风孔沿径向均匀布置。

8.如权利要求7所述的MOCVD装置，其特征在于，所述第二通风孔分散布置于所述第二区域内，所述第二区域内的所述第二通风孔的孔心连线为折线；

或者，所述第二区域内的所述第二通风孔的孔心共线，所述第二通风孔沿径向均匀布置。

9.如权利要求8所述的MOCVD装置，其特征在于，所述第三通风孔为长条形孔，包括第一长条形孔(18)和第二长条形孔(19)，所述第一长条形孔(18)和第二长条形孔(19)位于所述第二板(3)的中心两侧；垂直于所述第一长条形孔(18)短边的第一中心线与垂直于所述第二长条形孔(19)短边的第二中心线重合，且通过所述第二板(3)的中心；

位于所述第一板(2)的中心两侧的所述第一通风孔和所述第二通风孔的任一者在水平面的投影能够落入所述长条形孔在水平面的投影内。

10.如权利要求1-4、6-9任一项所述的MOCVD装置，其特征在于，所述第一板(2)的外周设有限位卡槽，所述第二板(3)的外周设置弹性卡片，所述弹性卡片的一端固定于第二板(3)的外周，另一端设置勾部，所述勾部通过卡入所述限位卡槽将所述第一板(2)与所述第二板(3)固定。