[发明专利]一种真空蒸发镀膜设备的送丝装置及镀膜工艺

权利要求书

1.一种汽车真空蒸发镀膜设备的送丝装置，其特征在于，包括多个丝材滚轮、真空室和设在真空室内的多个蒸发舟；

所述真空室内转动设有主动轴，所述真空室的外部设有驱动机构，所述驱动机构与所述主动轴连接；

所述主动轴上并排安装有多个齿轮机构，多个齿轮机构与多个蒸发舟以及多个丝线滚轮一一对应，各所述齿轮机构均包括设置于所述主动轴上的主动轮和与所述主动轮啮合的从动轮，丝材自所述丝材滚轮延伸穿过所述主动轮与从动轮之间，使所述驱动机构驱动各所述齿轮机构转动以将所述丝材传输至相对应的蒸发舟上；

位于所述主动轴两端的主动轮的直径大于位于所述主动轴中间的主动轮的直径。

2.如权利要求1所述的真空蒸发镀膜设备的送丝装置，其特征在于，所述主动轮的齿上中部和所述从动轮的齿上中部均设有用于所述丝线穿过的线槽，所述主动轮的齿上的线槽与所述从动轮的齿上的线槽形成的通道的直径小于所述丝线的直径，以在所述主动轮与所述从动轮啮合时夹持输送所述丝材。

3.如权利要求2所述的真空蒸发镀膜设备的送丝装置，其特征在于，各所述齿轮机构与各所述蒸发舟之间均设有导管，自所述丝材滚轮延伸穿过所述主动轮与从动轮之间的丝材穿过所述导管之后延伸至所述蒸发舟上。

4.如权利要求3所述的真空蒸发镀膜设备的送丝装置，其特征在于，所述导管为倾斜固定在真空室内部的耐热中空管道。

5.如权利要求1所述的真空蒸发镀膜设备的送丝装置，其特征在于，所述齿轮机构设置有五个，各所述齿轮机构的主动轮的直径比由左至右依次为1.1:1:0.95:1:1.1。

6.如权利要求1所述的真空蒸发镀膜设备的送丝装置，其特征在于，所述驱动机构包括电机以及与电机的输出轴传动连接的减速装置，所述减速装置与所述主动轴连接。

7.如权利要求6所述的真空蒸发镀膜设备的送丝装置，其特征在于，所述真空蒸发镀膜设备的送丝装置还包括控制器，控制器与电机电信号连接；

所述减速装置上设有与所述控制器电连接的转速传感器。

8.一种应用权利要求1-7任一项所述的真空蒸发镀膜设备的送丝装置的镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤：

S1，将待镀工件装入真空室，真空室抽真空，真空度高于6×10^-3Pa；

S2，向真空室通入氩气，工作气压为0.2Pa～0.5Pa，并使用磁控溅射靶在待镀工件表面制备一层过渡层，其中，所述靶电流为15～25A，偏压100～200V，占空比30％～50％，过渡层厚度800～1000nm；

S3，调整氩气的流量将工作气压调整至2×10^-2Pa～6×10^-2Pa；然后将蒸发舟预热，加热至加热功率为17kw～19kw时，开启驱动机构以传输丝材至蒸发舟，采用热蒸发镀工艺在过渡层表面制备一层厚的蒸发镀层

S4，调整氩气的流量将工作气压调整至0.2Pa～0.5Pa，采用磁控溅射工艺，在蒸发镀层表面制备一层面层，以将蒸发镀层夯实，其中所述靶电流为15A～20A，偏压为800V～1000V，占空比为30～50％。

9.如权利要求6所述的镀膜工艺，其特征在于，所述步骤S3中，多个齿轮机构的送丝速率由左至右依次为：300mm/min～400mm/min，363mm/min～272mm/min，345mm/min～259mm/min，363mm/min～272mm/min，300mm/min～400mm/min；轰击电压为1500V～2000V；蒸发镀层厚度为10μm～20μm。

10.如权利要求6所述的镀膜工艺，其特征在于，所述步骤S1中，当真空度达到5×10^-3Pa后，通入Ar气至1Pa，对待镀工件施加-1000V偏压进行辉光放电等离子清洗，以除去样品表面的氧化膜，持续20min。