[发明专利]一种靶材和背板的真空扩散接合方法

权利要求书

1.一种靶材和背板的真空扩散接合方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)将内置加热装置的金属包套整体预热到300-400℃，然后放置在液压机的机床上；

(2)将背板插入到金属包套的凹槽中，将靶材置于背板上表面中央，再在靶材上表面放置压块；

(3)将安装在液压机的机床上部的排气容器下降直至排气容器底部的橡胶密封圈压到液压机的机床内下部的压台上，将排气容器进行抽真空或充入惰性气体置换空气或者充入氢气置换空气；

(4)将靶材和背板加热到400-700℃，在压块上表面施加压力，在该温度和压力下保持一段时间，加压力期间将排气容器继续进行抽真空或者充入惰性气体或氢气，取出接合率达99％以上的背板和靶材，即完成背板和靶材的真空扩散接合，其中所述的抽真空具体为：将排气容器进行抽真空，压力达到100Pa以下后，开始加热，在压块上加压力期间继续进行真空排气，使压力达到10Pa以下；所述的充入惰性气体置换空气具体为：将排气容器进行抽真空，压力达到1Pa以下后通入惰性气体，调整惰性气体的流量使内部压力为10Pa，开始加热，在压块上加压力期间继续通入惰性气体使内部压力为10Pa；所述的充入氢气置换空气具体为：将排气容器进行抽真空，压力达到1Pa以下后通入氢气，调整氢气的流量使内部压力为10Pa，开始加热，在压块上加压力期间继续通入氢气维持内部压力为10Pa。

2.根据权利要求1所述的一种靶材和背板的真空扩散接合方法，其特征在于步骤(4)中施加压力为3-10kg/mm²的压力。

3.根据权利要求1所述的一种靶材和背板的真空扩散接合方法，其特征在于步骤(4)中施加压力时间为60分钟。

4.根据权利要求1所述的一种靶材和背板的真空扩散接合方法，其特征在于：所述的靶材为铝及铝合金、铜及铜合金、钛、镍及镍合金、钽及钽合金、钨及钨合金，所述的背板为铝合金、铜及铜合金。

5.根据权利要求1所述的一种靶材和背板的真空扩散接合方法，其特征在于：所述的金属包套由低热膨胀及高强度的不锈钢或者铁质材料构成。