[发明专利]一种浸液供给回收系统及其控制方法在审

专利信息
申请号: 202011609672.4 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112666799A 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 贾森波;闫超亚;陈文昱;付婧媛;付新 申请(专利权)人: 浙江启尔机电技术有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 朱亚冠
地址: 310000 浙江省杭州市临安市青山湖*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 浸液 供给 回收 系统 及其 控制 方法
【权利要求书】:

1.一种浸液供给回收系统,其特征在于:包括浸液供给模块、主抽排模块、密封抽排模块和控制器,浸液供给模块与浸没控制单元连接并向其提供浸液,主抽排模块和密封抽排模块与浸没控制单元连接并从其抽排浸液;浸液供给模块、主抽排模块、密封抽排模块中包括流控器件,流控器件包括对流体参数进行调节的执行器和对流体参数进行检测的检测器;控制器连接执行器和检测器并对其工作行为进行控制;控制器包括主程序模块、动作设置模块和参数设置模块;主程序模块提供控制系统运行的基础功能,主程序模块与动作设置模块和参数设置模块连接,动作设置模块根据动作配置文件设置对流控器件的操作方法,参数设置模块根据参数配置文件设置流控器件的操作参数范围。

2.如权利要求1所述的一种浸液供给回收系统,其特征在于:还包括气体供给模块,气体供给模块包括流控器件,控制器对气体供给模块中的流控器件进行控制。

3.如权利要求1所述的一种浸液供给回收系统,其特征在于:所述动作配置文件和/或参数配置文件是XML文件。

4.如权利要求1所述的一种浸液供给回收系统,其特征在于:所述控制器通过控制子控制器实现对各模块中的流控器件的控制。

5.如权利要求1所述的一种浸液供给回收系统,其特征在于:所述动作配置文件包含适用于各种操作动作的标准字段;所述参数配置文件包含适用于各种流控器件参数的标准字段。

6.如权利要求5所述的一种浸液供给回收系统,其特征在于:所述动作配置文件的标准字段包括设定状态检测、读取数据、动作步骤、输出数据、等待时间的字段。

7.如权利要求5所述的一种浸液供给回收系统,其特征在于:所述参数配置文件的标准字段包括指明器件类型、状态量的上下限、操作量的上下限、告警量的上下限、设计寿命以及单位的字段。

8.如权利要求1所述的一种浸液供给回收系统,其特征在于:所述控制器还包括配置编辑模块,配置编辑模块能够对动作配置文件和参数配置文件进行编辑。

9.一种浸液供给回收系统的控制方法,使用本发明所述的浸液供给回收系统,其特征在于包括如下步骤:

A1:编辑控制器的动作配置文件,指定对流控器件的操作方法;编辑控制器的参数配置文件,指定流控器件的输入和输出参数的范围,指明流控器件的特性;

A2:控制器接收指令,根据指令从动作配置文件读取操作方法,从参数配置文件读取受控流控器件特性;

A3:控制器根据动作配置文件,在参数配置文件限定的范围内进行逻辑和数值运算,产生控制信号;

A4:控制器将控制信号传递至受控的流控器件。

10.如权利要求9所述的一种浸液供给回收系统的控制方法,其特征在于:所述动作配置文件和参数配置文件是XML文件。

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