[发明专利]射频MEMS开关器件及其制作方法

权利要求书

1.一种射频MEMS开关器件，其特征在于，包括：

衬底；

设置于所述衬底上的信号线、地线以及第一电极，所述信号线与所述地线彼此间隔，并且与所述第一电极连接；

设置于所述第一电极上方以与所述第一电极面对的第二电极，所述第二电极与所述第一电极彼此间隔；

连接所述第二电极和所述地线的铰链；

其中，所述铰链、所述第二电极、所述信号线以及所述地线同时形成。

2.根据权利要求1所述的射频MEMS开关器件，其特征在于，还包括：覆盖在所述第一电极上的介质层。

3.根据权利要求1所述的射频MEMS开关器件，其特征在于，还包括：设置在所述衬底以及所述信号线、所述地线和所述第一电极之间的隔离氧化层。

4.根据权利要求1或3所述的射频MEMS开关器件，其特征在于，所述地线包括第一地线和第二地线，所述第一地线和所述第二地线彼此间隔，所述信号线设置于所述第一地线和所述第二地线之间；

所述第二电极呈矩形，其四边串接的顺序为第一边、第二边、第三边和第四边，第一边邻近所述第二地线，第三边邻近所述第一地线；

所述铰链包括彼此间隔的第一铰链和第二铰链；

所述第一铰链包括：由所述第二电极的第一角沿远离所述第一边的方向延伸形成的第一梁；由所述第一梁沿朝向所述第二边的方向延伸形成的第二梁；由所述第二梁沿朝向所述第三边的方向延伸形成的第三梁；由所述第三梁沿朝向所述第四边的方向延伸形成的第四梁；其中，所述第四梁连接到所述第一地线，所述第一角为所述第一边和所述第四边之间的夹角；

所述第二铰链包括：由所述第二电极的第二角沿远离所述第三边的方向延伸形成的第五梁；由所述第五梁沿朝向所述第四边的方向延伸形成的第六梁；由所述第六梁沿朝向所述第一边的方向延伸形成的第七梁；由所述第七梁沿朝向所述第二边的方向延伸形成的第八梁；其中，所述第八梁连接到所述第二地线，所述第二角为所述第二边和所述第三边之间的夹角。

5.根据权利要求1所述的射频MEMS开关器件，其特征在于，所述第二电极上具有若干释放孔。

6.一种射频MEMS开关器件的制作方法，其特征在于，包括：

在衬底上形成第一电极；

在所述衬底上同时形成与所述第一电极连接的所述信号线、与所述信号线彼此间隔的地线、位于所述第一电极上方且与所述第一电极面对的第二电极以及连接所述第二电极和所述地线的铰链。

7.根据权利要求6所述的射频MEMS开关器件的制作方法，其特征在于，在所述衬底上同时形成与所述第一电极连接的所述信号线、与所述信号线彼此间隔的地线、位于所述第一电极上方且与所述第一电极面对的第二电极以及连接所述第二电极和所述地线的铰链之前，所述射频MEMS开关器件的制作方法还包括：制作形成覆盖所述第一电极的介质层。

8.根据权利要求6所述的射频MEMS开关器件的制作方法，其特征在于，

在衬底上形成第一电极之前，所述射频MEMS开关器件的制作方法还包括：在衬底上形成隔离氧化层；

在衬底上形成第一电极，具体包括：在所述隔离氧化层上形成第一电极。

9.根据权利要求6或8所述的射频MEMS开关器件的制作方法，其特征在于，在所述衬底上同时形成与所述第一电极连接的所述信号线、与所述信号线彼此间隔的地线、位于所述第一电极上方且与所述第一电极面对的第二电极以及连接所述第二电极和所述地线的铰链，具体包括：

在所述第一电极上形成牺牲层，所述牺牲层的截面形状呈等腰梯形；

在所述衬底和所述牺牲层上形成结构层，所述结构层覆盖所述牺牲层；

对所述结构层进行图案化处理，以形成所述信号线、所述地线、所述第二电极、所述铰链以及位于所述第二电极上的若干释放孔；

通过所述释放孔将所述牺牲层去除。

10.根据权利要求9所述的射频MEMS开关器件的制作方法，其特征在于，对所述结构层进行图案化处理形成的所述地线包括第一地线和第二地线，所述第一地线和所述第二地线彼此间隔，所述信号线设置于所述第一地线和所述第二地线之间；

对所述结构层进行图案化处理形成的所述第二电极呈矩形，所述第二电极的四边串接的顺序为第一边、第二边、第三边和第四边，所述第一边邻近所述第二地线，所述第三边邻近所述第一地线；

对所述结构层进行图案化处理形成的所述铰链包括彼此间隔的第一铰链和第二铰链；

所述第一铰链包括：由所述第二电极的第一角沿远离所述第一边的方向延伸形成的第一梁；由所述第一梁沿朝向所述第二边的方向延伸形成的第二梁；由所述第二梁沿朝向所述第三边的方向延伸形成的第三梁；由所述第三梁沿朝向所述第四边的方向延伸形成的第四梁；其中，所述第四梁连接到所述第一地线，所述第一角为所述第一边和所述第四边之间的夹角；

所述第二铰链包括：由所述第二电极的第二角沿远离所述第三边的方向延伸形成的第五梁；由所述第五梁沿朝向所述第四边的方向延伸形成的第六梁；由所述第六梁沿朝向所述第一边的方向延伸形成的第七梁；由所述第七梁沿朝向所述第二边的方向延伸形成的第八梁；其中，所述第八梁连接到所述第二地线，所述第二角为所述第二边和所述第三边之间的夹角。