[发明专利]一种碱性蚀刻液循环再生方法

权利要求书

1.一种碱性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，所述再生方法包括以下步骤：

S1、用溶剂对碱性蚀刻废液进行萃取，得到负载铜油相和第一水相；

S2、对负载铜油相进行一道水洗，得到第二油相和第二水相；

S3、在所述第二油相中加入反萃取剂，得到第三油相和第三水相；

S4、对所述第三水相进行电解，并使第三水相中的铜离子沉积，排空氧气，得到电积后液和沉积的铜；

S5、所述第三油相与所述第二水相合并，并对合并形成的混合液进行二道水洗，得到第四水相和第四油相；

S6、对第四水相采取膜处理微调或采用减压蒸馏工艺、调节pH值形成碱性溶液。

2.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，所述步骤S4之后还包括将所述电积后液与所述第二油相合并，再次进行S3中的反萃取步骤。

3.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，在所述步骤S1之后还包括对所述第一水相进行组分调节，相应的补加氨和氯化氨形成再生蚀刻液。

4.根据权利要求3所述的碱性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，还包括对所述再生蚀刻液的Cu²⁺、NH⁴⁺、Cl^-等离子以及PH值进行测定、根据测定结果确定所需添加的氨、氯化铵的量以达到所述组分调节的精确控制的步骤。

5.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，所述步骤S5之后还包括将所述第四油相再次进行S1-S5中的步骤。

6.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，所述步骤S6中所述采用减压蒸馏工艺具体包括对所述第四水相进行减压浓缩，得到含盐酸的蒸馏出水和浓缩液，使所述浓缩液冷却结晶，固液分离得到氯化物固体和酸性溶液。

7.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，所述步骤S1中具体包括油水混合、澄清分层、油水分离；

萃取主要反应式为：2RH+Cu²⁺＝CuR₂+2H⁺，RH为萃取剂；

铜络离子的离解反应式为：CuL_m＝Cu²⁺+mL，L为NH₃或Cl^-。

8.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，所述步骤S3中反萃取步骤具体包括用含H₂SO₄的硫酸铜电积后液与经过洗涤的负载铜的反萃取剂充分接触，使铜从反萃取剂中转入水相中，同时卸载后的反萃取剂恢复萃取功能；

反萃取主要反应式为CuR₂+2H₂SO₄＝CuSO₄+2RH，RH为反萃取剂。

9.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，所述步骤S4中硫酸铜电解并沉积时阳极产生氧气，所述氧气携带有硫酸雾，喷淋塔喷射碱性水沫以中和所述硫酸雾，使排放的气体符合标准；所述喷淋塔里的水PH值在8～13之内。