[发明专利]痕量元素的测量装置及方法

说明书

本发明提供了痕量元素的测量装置及方法，所述痕量元素的测量装置包括分析仪器；切换模块用于使第一多通阀的端口选择性连通待测液、标液和清洗液；第一储液部件的两端连通第一多通阀的端口；第二储液部件的两端连通第二多通阀的端口；第三储液部件的两端连通第三多通阀的端口；通过第二多通阀的切换，第二泵经过和不经过第三储液部件地连通所述分析仪器；多个泵，第一泵连通所述第一多通阀的端口，第二泵连通所述第三多通阀的端口，第三泵连通所述第二多通阀；第四泵和第五泵用于提供液体并连通所述第二多通阀的端口。本发明具有检测准确等优点。

技术领域

本发明涉及元素检测，特别涉及痕量元素的测量装置及方法。

背景技术

半导体器件制造需要严格控制污染源，业内人士估计，污染造成了约50％的产量损失。碱金属与碱土金属(Li,Na,K,Ca,Mg,Ba等)污染可造成元器件漏电，造成低击穿；过渡金属与重金属(Fe,Cr,Ni,Cu,Au,Mn,Pb等)污染可使元器件寿命缩短或元件工作时暗电流增大；渗透元素(S,P,Si,As,Sb,B,Al等)污染有扩散作用，影响电子和空穴的数量。而制程中化学品种类较多，无机类的有盐酸、双氧水、硫酸、氢氟酸等强酸及清洗液SC-1和SC-2混合溶液，有机类的有甲醇、异丙醇等。每种化学品的基体不一致，所需检测元素浓度在ng/L级别，虽然当前检测手段为精密仪器电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)，但是前处理如样品稀释、标液的配制过程均有可能引入污染。

当前做法为使用外标法，外标法为按梯度添加一定量的标准品于空白溶剂中制成标准样品，与未知试样平行地进行样品处理并检测，这种做法适用于标准样品与样品基体基本相同的情况，但当基体复杂时很难获得准确的结果；

在大批量样品测试过程中，检测设备ICP-MS蠕动泵管的疲劳，很难做到同样条件下的测试，应对不同基体的样品，传统的外标法较难满足要求。

应对复杂基体，实验室分析人员也可使用手动标准加入法进行测量，人工将待测样品分为若干份，手动加入不同浓度的标准溶液；达到标准溶液与未知样品的同时检测；然而半导体行业中手动标准加入法对于加标ng/L级含量的样品，操作上十分容易污染样品，对环境要求及操作有较大的难度。

发明内容

为解决上述现有技术方案中的不足，本发明提供了一种痕量元素的测量装置。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

痕量元素的测量装置，所述痕量元素的测量装置包括分析仪器；所述痕量元素的测量装置还包括：

切换模块，所述切换模块用于使第一多通阀的端口选择性连通待测液和标液；

第一多通阀和第一储液部件，所述第一储液部件的两端连通所述第一多通阀的端口；通过第一多通阀的切换，使得第二多通阀经过和不经过第一储液部件地连通切换模块，以及使第一泵经过和不经过第一储液部件地连通所述分析仪器；

第二多通阀和第二储液部件，所述第二储液部件的两端连通所述第二多通阀的端口；通过第二多通阀的切换，使得第一多通阀经过和不经过第二储液部件地连通第三泵，以及使第三多通阀经过第二储液部件地连通第四泵，使第三多通阀不经过第二储液部件地连通第五泵；

第三多通阀和第三储液部件，所述第三储液部件的两端连通所述第三多通阀的端口；通过第二多通阀的切换，第二泵经过和不经过第三储液部件地连通所述分析仪器；

多个泵，第一泵连通所述第一多通阀的端口，第二泵连通所述第三多通阀的端口，第三泵连通所述第二多通阀；第四泵和第五泵用于提供液体并连通所述第二多通阀的端口。

本发明的另一目的在于提供了应用上述痕量元素的测量装置的痕量元素的测量方法，该发明目的是通过以下技术方案得以实现的：

应用本申请的痕量元素的测量装置的痕量元素的测量方法，所述痕量元素的测量方法包括以下步骤：