[发明专利]一种柔性电子器件的制备方法及其制备装置

权利要求书

1.一种柔性电子器件的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

沿柔性衬底(5)外轮廓方向对其进行均匀拉伸；

所述柔性衬底(5)拉伸到位后，在所述柔性衬底(5)的拉伸状态下，将敏感单元(6)材料呈阵列式涂覆到柔性衬底(5)的表面；

待所述柔性衬底(5)上的敏感单元(6)材料固化后，释放柔性衬底(5)使其回缩至初始尺寸。

2.根据权利要求1所述的柔性电子器件的制备方法，其特征在于，在所述柔性衬底(5)拉伸到位后，在所述柔性衬底(5)上方放置网板(34)，所述网板(34)上开设有阵列式小孔，从所述网板(34)上方向所述柔性衬底(5)上喷涂敏感单元(6)材料。

3.根据权利要求2所述的柔性电子器件的制备方法，其特征在于，通过喷头(31)向所述柔性衬底(5)上喷涂敏感单元(6)材料，所述喷头(31)固定在三维驱动机构(32)上，所述三维驱动机构(32)驱动所述喷头(31)相对所述柔性衬底(5)做三维运动。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的柔性电子器件的制备方法，其特征在于，所述柔性衬底(5)拉伸到位后，对所述柔性衬底(5)进行加热；在所述柔性衬底(5)回缩至初始尺寸后，停止加热所述柔性衬底(5)。

5.一种柔性电子器件的制备装置，其特征在于，包括

基座(1)，其上部设有向内凹陷的凹陷区；柔性衬底(5)适于置于所述凹陷区内；

至少三组拉伸组件(2)，设在所述基座(1)上并沿所述凹陷区的轮廓方向均匀分布，所述拉伸组件(2)适于在至少三个方向夹持住所述柔性衬底(5)并对其进行均匀拉伸或释放；

喷涂组件(3)，设于所述基座(1)顶部；所述喷涂组件(3)包括喷头(31)，所述喷头(31)适于将敏感单元(6)材料呈阵列式涂覆到柔性衬底(5)的表面上。

6.根据权利要求5所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，所述凹陷区的顶部轮廓为圆形；所述拉伸组件(2)具有多组，多组所述拉伸组件(2)沿所述凹陷区的周向等间距分布；多组所述拉伸组件(2)用于夹持所述柔性衬底(5)的夹持端的连线为近圆形，以在柔性衬底(5)的周向上对其进行均匀拉伸。

7.根据权利要求5或6所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，所述喷涂组件(3)包括三维驱动机构(32)，所述三维驱动机构(32)设于所述基座(1)上；所述喷头(31)固定在所述三维驱动机构(32)上，所述三维驱动机构(32)驱动所述喷头(31)相对所述柔性衬底(5)做三维运动。

8.根据权利要求5-7中任一项所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，所述喷涂组件(3)还包括支撑组件和网板(34)，所述支撑组件位于所述柔性衬底(5)上方并可相对所述柔性衬底(5)上下移动地设于所述基座(1)上，所述网板(34)可拆卸地设于所述支撑组件上。

9.根据权利要求8所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，还包括第一驱动器(35)，所述第一驱动器(35)设于所述基座(1)上，所述支撑组件设于所述第一驱动器(35)的驱动端。

10.根据权利要求5-9中任一项所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，还包括升降座，所述升降座可相对所述拉伸组件升降地设于所述基座(1)上，所述柔性衬底(5)适于承载在所述升降座上。