[发明专利]一种双台面激光直写曝光机的对位方法

权利要求书

1.一种双台面激光直写曝光机的对位方法，包括曝光引擎、视觉单元、吸盘及设置于吸盘上的摄像头，其特征在于：步骤如下：

S1：在曝光引擎上设置视觉标定点，

S2：加载生产资料到曝光机内，通过生产资料里面的坐标数据使视觉单元移动到相应的位置并在该位置可以识别待曝光电路板上的Mark点，该位置为临时标定位置，该临时标定位置只能用于生产同一规格的电路板，电路板的规格更换后因为Mark点的位置变化，视觉单元在以前的位置无法看到规格更换后的电路板的Mark点，因而视觉单元需要通过输入新的生产资料找新的临时标定位置，

S3：使曝光引擎沿X方向移动使视觉单元能够看到视觉标定点并标定视觉单元此时的位置，视觉单元不用移动；使吸盘沿Y方向移动使摄像头能够看到视觉标定点并且使曝光引擎在吸盘上投射的引擎标定点，该摄像头同时看到引擎标定点，然后经过计算得出曝光引擎与视觉标定点的精确位置，从而计算出曝光引擎与视觉单元的相对位置关系。

2.根据权利要求1所述的一种双台面激光直写曝光机的对位方法，其特征在于：所述电路板上相对具有两列Mark点，分别位于电路板的两侧，所述视觉单元对应设有两套，每套视觉单元对应一列Mark点。