[发明专利]一种用于驱动准分子激光器的脉冲电路

权利要求书

1.一种用于驱动准分子激光器的脉冲电路，其特征在于：该脉冲电路包括触发脉冲电路(41)，所述触发脉冲电路(41)包括用于给气体激光器(4)的触发端供电的第一供电单元(411)；所述第一供电单元(411)包括第十电容(C10)，用于给第十电容(C10)充电的充电电源，用于驱动充电之后的第十电容(C10)放电的驱动组件；所述第十电容(C10)放电用于给气体激光器(4)的触发端供电；

信号采集模块，用于采集向气体激光器(4)发送种子光的光束激光器(9)的触发信号；

电信号处理模块(2)接收和处理信号采集模块采集的光束激光器(9)的触发信号，并将处理之后的触发信号输入至气体激光器(4)的使能端，以使种子光到达气体激光器(4)的时间与气体激光器(4)放电时间同步；所述气体激光器(4)的放电时间受气体激光器(4)的使能端控制；

所述电信号处理模块(2)包括555定时器(F3)和第三场效应管(Q3)；

所述信号采集模块的输出端与555定时器(F3)的输入端相连接，所述555定时器(F3)的输出端与第三场效应管(Q3)的栅极相连接，所述第三场效应管(Q3)的漏极作为输出端与气体激光器(4)的使能端相连接，所述第三场效应管(Q3)的漏极还通过第八电阻(R8)与电源连接；所述第三场效应管(Q3)的源极接地。

2.如权利要求1所述的用于驱动准分子激光器的脉冲电路，其特征在于：所述驱动组件为晶体管(Q6)，所述第一供电单元(411)还包括第二变压器(TR2)；所述第二变压器(TR2)包括位于第一供电单元(411)侧的初级线圈和位于气体激光器(4)侧的次级线圈；所述晶体管(Q6)的栅极连接有用于使晶体管(Q6)导通的导通电源；所述第二变压器(TR2)的初级线圈、晶体管(Q6)、第十电容(C10)构成串联电路，所述充电电源给该串联电路供电；所述第十电容(C10)放电时通过第二变压器(TR2)的初级线圈和次级线圈给气体激光器(4)的触发端供电。

3.如权利要求2所述的用于驱动准分子激光器的脉冲电路，其特征在于：所述第一供电单元(411)还包括串联的第十八电阻(R18)和第四二极管(D4)；充电电源与第十八电阻(R18)的一端连接，所述第十八电阻(R18)的另一端与第四二极管(D4)的正极连接，所述第四二极管(D4)的负极与晶体管(Q6)的集电极相连接，所述第四二极管(D4)的负极还与第二变压器(TR2)的初级线圈的一端连接，所述晶体管(Q6)的发射极与第十电容(C10)的一端连接，所述第十电容(C10)的另一端与第二变压器(TR2)的初级线圈的另一端连接。

4.如权利要求2或3所述的用于驱动准分子激光器的脉冲电路，其特征在于：所述触发脉冲电路(41)还包括位于晶体管(Q6)发射极与集电极之间的保护电路(413)，所述保护电路(413)用于防止气体激光器(4)的放电电压击毁晶体管(Q6)。

5.如权利要求2或3所述的用于驱动准分子激光器的脉冲电路，其特征在于：所述触发脉冲电路(41)还包括用于在第十电容(C10)充电时给气体激光器(4)的触发端供电的第二供电单元(412)，所述第二供电单元(412)包括与第二变压器(TR2)的次级线圈一端相连接的辅助电源；所述第二变压器(TR2)的次级线圈一端还与气体激光器(4)的负极相连接，所述第二变压器(TR2)的次级线圈另一端与气体激光器(4)的正极相连接。