[发明专利]一种芯片封装的封装方法在审

专利信息
申请号: 202011617859.9 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112614787A 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 谭小春 申请(专利权)人: 合肥矽迈微电子科技有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L23/31;H01L21/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230088 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 封装 方法
【权利要求书】:

1.一种芯片封装的封装方法,其特征在于,在晶圆(a)上对芯片(10)上的寄生电容(11)进行一次Bump,形成第一金属凸点(20),在第一金属凸点(20)的上进行二次Bump,形成第二金属凸点(30),所述第一金属凸点(20)和第二金属凸点(30)之间具有环形的凹陷(b),将带有第一金属凸点(20)和第二金属凸点(30)的芯片(10)进行后续的常规芯片封装操作流程。

2.根据权利要求1所述的一种芯片封装的封装方法,其特征在于,所述第一金属凸点(20)将芯片(10)上的寄生电容(11)完全覆盖,增加黏结性。

3.根据权利要求1所述的一种芯片封装的封装方法,其特征在于,所述第一金属凸点(20)和第二金属凸点(30)处于同一轴线上,所述轴线垂直所述芯片(10)所在的晶圆(a)所形成的面。

4.根据权利要求1所述的一种芯片封装的封装方法,其特征在于,在二次Bump时,将第二金属凸点(30)的尺寸设计与第一金属凸点(20)的尺寸相同,或者大于第一金属凸点(20)的尺寸,或者小于第一金属凸点(20)的尺寸。

5.根据权利要求1所述的一种芯片封装的封装方法,其特征在于,在同一晶圆(a)上,先后针对同一寄生电容(11)进行一次Bump与二次Bump,再进行下一寄生电容(11)的一次Bump与二次Bump操作。

6.根据权利要求1所述的一种芯片封装的封装方法,其特征在于,在同一晶圆(a)上,将晶圆(a)上的所有寄生电容(11)进行一次Bump后,再进行二次Bump操作。

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