[发明专利]光程差形成装置及基于FTIR技术的气体分析仪

权利要求书

1.光程差形成装置，所述光程差形成装置包括光源和透反镜，所述光源发出的检测光在所述透反镜上分束为第一反射光和第一透射光；其特征在于；所述光程差形成装置还包括：

第一反射器件和第一反射镜，所述第一反射器件具有第一组反射面，所述第一反射光依次经过第一组反射面和第一反射镜的反射后，原路返回到所述透反镜并透射，形成第二透射光；

第二反射器件和第二反射镜，所述第二反射器件具有第二组反射面，所述第一透射光依次经过第二组反射面和第二反射镜的反射后，原路返回到所述透反镜并反射，形成第二反射光，所述第二反射光和第二透射光合束；

驱动单元，所述驱动单元用于驱动第一反射器件和第二反射器件，使得所述第一反射器件相对第一反射镜接近和远离地平移，所述第二反射器件相对第二反射镜接近和远离地平移。

2.根据权利要求1所述的光程差形成装置，其特征在于，所述光程差形成装置还包括：

反射镜组，所述反射镜组设置在第一反射光光路或第一透射光光路上，使得第一反射光在入射到第一反射器件时的方向和第一透射光入射到第二反射器件时的方向平行，所述第一反射镜和第二反射镜平行设置。

3.根据权利要求2所述的光程差形成装置，其特征在于，所述驱动单元同步驱动第一反射器件和第二反射器件平移，使得光源到第一反射镜间光程变化方向和所述光源到第二反射镜间光程变化方向相反。

4.根据权利要求1所述的光程差形成装置，其特征在于，所述第一组反射面包括之间夹角为直角的第一反射面和第二反射面，所述第二组反射面包括之间夹角为直角的第三反射面和第四反射面。

5.根据权利要求1所述的光程差形成装置，其特征在于，所述第一反射器件的平移方向垂直于所述第一反射镜，所述第二反射器件的平移方向垂直于所述第二反射镜。

6.根据权利要求1或2或3所述的光程差形成装置，其特征在于，所述驱动单元包括：

支架和直线导轨，所述直线导轨设置在所述支架上；

承载件，所述承载件可滑动地设置在所述直线导轨上；所述第一反射器件和/或第二反射器件设置在所述承载件上；

驱动模块，所述驱动模块包括第一组磁铁、第二组磁铁和第三组磁铁，第一组磁铁和第二组磁铁分别包括多个永磁铁，并沿着所述支架的延伸方向排列；第一组磁铁和第二组磁铁间的缝隙的每一侧的永磁铁的N极和S极交替地朝向所述缝隙，缝隙两侧的永磁铁相对设置，且磁极相反；第三组磁铁采用电磁铁，设置在第一组磁铁和第二组磁铁之间，且沿着所述延伸方向排列；所述第三组磁铁的磁场方向垂直于支架的延伸方向；

测距模块，所述测距模块用于检测所述承载件的移动距离。

7.根据权利要求6所述的光程差形成装置，其特征在于，所述支架上具有直线状凹槽，所述第一组磁铁和第二组磁铁分别设置在所述直线状凹槽的相对的两侧，所述第三组磁铁设置在所述承载件上。

8.根据权利要求6所述的光程差形成装置，其特征在于，所述第一组磁铁和第二组磁铁分别设置在所述承载件上，所述第三组磁铁设置在所述支架上。

9.根据权利要求6所述的光程差形成装置，其特征在于，在竖直方向上，所述导轨的位置高于所述第一组磁铁和第二组磁铁。

10.基于FTIR技术的气体分析仪，所述基于FTIR技术的气体分析仪包括气体池和探测器；其特征在于，所述基于FTIR技术的气体分析仪还包括：

权利要求1-9任一所述的光程差形成装置，所述第二反射光和第二透射光的合束光射入所述气体池，所述探测器接收所述合束光穿过所述气体池后的衰减光。