[发明专利]一种新型蒸镀机

说明书

为了解决如何提高真空镀膜的问题，本发明提出一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅、控制机构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构，将镀锅安装至蒸镀机本体内部，抽真空泵组进行抽真空处理，控制机构启动驱动机构，加热灯结构除去蒸镀机本体内部水分、离子源对基板表面进行离子轰击使表面粗糙，清洁并辅助镀膜，坩埚启动对基板进行镀膜，水冷隔热机构降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度，该镀膜机结构简答，操作方便且镀膜效果好。

技术领域

本发明涉及蒸镀机技术领域，较为具体的，涉及到一种新型蒸镀机。

背景技术

传统光学真空镀膜工艺原理是通过高温方式使得材料从固态转化成气态，真空环境中的气态分子最终沉积到样品表面，这种成膜方式，材料粒子的能量一般只有几个电子伏或者更低，这种粒子在材料表面成膜的时候没有足够的能量，以致粒子在基底表面成膜的时候不能形成致密排列，为了提高材料分子在沉积的过程中有更高的能量，生成更致密的薄膜，过去我们通过基片加热的方式，当基底温度足够高，薄膜质量还是能够保证的，但是这种方式局限了很多其他领域的应用，特别是低温材料的应用。

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。

近年来，市场对真空镀膜的需求越来越大，效果要求也越来越高，故如何提高真空镀膜的效果成了当下需要解决的问题。

发明内容

有鉴于此，为了解决如何提高真空镀膜的问题，本发明提出一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅、控制机构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构，将镀锅安装至蒸镀机本体内部，抽真空泵组进行抽真空处理，控制机构启动驱动机构，加热灯结构除去蒸镀机本体内部水分、离子源对基板表面进行离子轰击使表面粗糙，清洁并辅助镀膜，坩埚启动对基板进行镀膜，水冷隔热机构降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度，该镀膜机结构简答，操作方便且镀膜效果好。

一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体1、加热灯结构4、镀锅7、控制机构17、水冷隔热机构8、坩埚11、离子源12和驱动机构，其特征在于：所述蒸镀机本体1内部分为第一中空腔体2和第二中空腔体3，加热灯结构4、镀锅7、水冷隔热机构8、坩埚11、离子源12和驱动机构均设置于蒸镀机本体1的第一中空腔体2内，控制机构17位于蒸镀机本体1的第二中空腔体3内，第一中空腔体2和第二中空腔体3相邻，驱动机构包括：马达15、抽真空泵组16、旋转气缸29，所述驱动机构与控制机构17电性连接，所述第一中空腔体2的顶部设有镀锅7，所述镀锅7的顶端连接马达15，所述镀锅7下部设有加热灯结构4、坩埚11和离子源12，所述加热灯结构4、坩埚11和离子源12固定在第一中空腔体2的底板上，所述第一中空腔体2的一侧面设有主阀腔18，主阀腔18与第一中空腔体2连通，所述主阀腔18上设有水冷隔热机构8，主阀腔18的下部设有与主阀腔18通过真空管连通的抽真空泵组16，抽真空泵组16位于蒸镀机本体1外部的支架上，所述第一中空腔体2的与主阀腔18相对面设有腔门19，腔门19与第一中空腔体2铰接，腔门19前端设有视窗结构20。

进一步的,第一中空腔体2底板的上部设有防着板21，防着板21与底板设有间隙，防着板21上设有坩埚11孔和遮板23装置孔，所述坩埚11位于间隙处且坩埚11的开口于坩埚11孔套接，坩埚11的开口上方设有遮板23，所述遮板23与坩埚11的开口设有间隙，所述遮板23旁设有遮条24，遮条24固定安装在防着板21上，通过旋转气缸29带动遮板23旋转，遮板23的功能为蒸发在淀积开始之前将遮板23移至坩埚11上方，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板23，防止源材料扩散至蒸镀机内部的其他部件上，遮板23和遮条24的配合可以防止长时间的蒸发造成源材料的浪费，自动化程度高。