[发明专利]一种基于电磁力调节的气磁混合支承误差补偿方法有效
| 申请号： | 202011618534.2 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112610604B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 杨涛;刘敬坤;刘梅 | 申请（专利权）人： | 四川龙天精工科技有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/04 | 分类号： | F16C32/04;F16C32/06 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 孙海博 |
| 地址： | 621000 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 磁力 调节 混合 支承 误差 补偿 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于电磁力调节的气磁混合支承误差补偿方法，其特征在于：根据各个位置的误差及刚度，控制器输出相应的电磁力，逐点对误差进行校准；
具体步骤包括：
1）静态校准；
a.驱动支承到各个位置，保持静止状态；
b.逐点测量气浮支承刚度；
c.逐点测量误差；
d.根据各个位置的误差及刚度，控制器输出相应的电磁力，逐点对误差进行校准；
2）动态校准；
e.驱动支承连续运动；
f.连续测量各个位置的误差；
g.根据各个位置的误差及刚度，控制器输出相应的电磁力，逐点对误差进行校准。
2.根据权利要求1所述的基于电磁力调节的气磁混合支承误差补偿方法，其特征在于：根据各个位置的误差及刚度，采用力-位移转换算法，控制器输出相应的电磁力，实现误差补偿。
3.根据权利要求1所述的基于电磁力调节的气磁混合支承误差补偿方法，其特征在于：所述的支承为转台或导轨。
4.根据权利要求1~3任一所述的基于电磁力调节的气磁混合支承误差补偿方法，其特征在于：所述的误差为回转误差、直线度误差、轴摆误差中的至少一种。
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