[发明专利]一种PERC电池中氧化铝膜的沉积方法在审
| 申请号： | 202011619391.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112838143A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 赵颖;厉文斌;任勇;何悦 | 申请（专利权）人： | 横店集团东磁股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C23C16/52;C23C16/455;C23C16/40 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 322118 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 perc 电池 氧化铝 沉积 方法 | ||
1.一种PERC电池中氧化铝膜的沉积方法，其特征在于，所述沉积方法包括如下步骤：
氧化退火后的电池片放入ALD管式炉，真空条件下交替通入三甲基铝与H2O进行沉积；所述交替通入的次数为20-32次。
2.根据权利要求1所述的沉积方法，其特征在于，单次通入过程中，三甲基铝的脉冲时间为1-5s，吹扫时间为3-9s。
3.根据权利要求1或2所述的沉积方法，其特征在于，单次通入过程中，三甲基铝的流量为5-30sccm。
4.根据权利要求1-3任一项所述的沉积方法，其特征在于，单次通入过程中，H2O的脉冲时间为1-5s，吹扫时间为5-15s。
5.根据权利要求1-4任一项所述的沉积方法，其特征在于，单次通入过程中，H2O的流量为5-30sccm。
6.根据权利要求1-5任一项所述的沉积方法，其特征在于，所述沉积的温度为240-260℃，优选为245-255℃。
7.根据权利要求1-6任一项所述的沉积方法，其特征在于，所述沉积时的绝对压力不超过1.2mbar。
8.根据权利要求1-7任一项所述的沉积方法，其特征在于，所述沉积的升温速率为0.5-0.75℃/s。
9.根据权利要求1-8任一项所述的沉积方法，其特征在于，所述沉积结束后通氮气破真空。
10.根据权利要求1-9任一项所述的沉积方法，其特征在于，所述沉积方法包括如下步骤：
氧化退火后的电池片放入ALD管式炉，抽真空至绝对压力不超过1.2mbar，以0.5-0.75℃/s的升温速率升高至240-260℃，然后交替通入三甲基铝与H2O进行沉积，沉积结束后通氮气破真空，完成PERC电池中氧化铝膜的沉积；所述交替通入的次数为20-32次；
单次通入过程中，三甲基铝的脉冲时间为1-5s，吹扫时间为3-9s，三甲基铝的流量为5-30sccm；
单次通入过程中，H2O的脉冲时间为1-5s，吹扫时间为5-15s，H2O的流量为5-30sccm。
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