[发明专利]高温气体流通器的制作方法

权利要求书

1.一种高温气体流通器的制作方法，其特征在于，步骤如下：

（1）以碳含量≥95％密度1.3g/cm³-1.6g/cm³的碳纤维复合板材及棒材，进行真空高温处理，形成碳纯度高，不易变形的材料；高温处理步骤为：真空至10帕以下，设定升温曲线，用时6h升温至1000-1100℃，再用时6h升温至1550-1650℃，用时7h升温至2150-2250℃，恒温3-10小时，自动降温至60℃以下，将其取出备用；

（2）将上述步骤处理后的板材和棒材采用机械加工的方式制作叶片、主轴、锁套及螺丝，具体为：

将上述步骤处理后的板材处理成为厚度均匀的板材，将板材加工成条状材料，并在条状材料的中间位置的上下两侧分别开第一子槽和第二子槽，作为叶片；

用碳纤维复合棒材制作主轴、锁套及螺丝；所述主轴的制作方法是将碳纤维复合棒材的一端开设与第二子槽相应的母槽，并在侧面开螺纹孔；所述锁套为圆柱形，其直径与叶片的第一子槽的宽度相适应，底部开十字形槽，侧面开有螺纹孔；

（3）将两个叶片相互交叉成十字形状，插入主轴的母槽中，将锁套安装到叶片的第一子槽中，并用螺丝将锁套和主轴固定，制作成高温气体流通器；

（4）将高温气体流通器通过气相沉积的方法沉积碳，形成致密、轻量、耐高温、高强度的高温气体流通器；气相沉积处理步骤：真空度在100Pa以下，设定升温曲线，用时2h升温至280-320℃，用时6h升温至880-920℃，用时1.5h升温至1000-1050℃，恒温3小时，然后通入氮气和碳源气体，各气体的气流量为10-30m³每小时，通气保持时间为400-1000小时，通气结束后断电降温，自动降温至60℃以下，将其取出即得；

（5）将致密、轻量、耐高温、高强度的高温气体流通器，再次进行真空高温处理，真空高温处理的步骤与步骤（1）真空高温处理的步骤相同。

2.根据权利要求1所述的高温气体流通器的制作方法，其特征在于，所述步骤（1）真空高温处理的步骤为：真空至10Pa以下，设定升温曲线，用时6h升温至1050℃，再用时6h升温至1600℃，用时7h升温至2200℃，2200℃下恒温3-10小时，自动降温至60℃以下，将其取出即得。

3.根据权利要求1所述的高温气体流通器的制作方法，其特征在于，所述步骤（4）中气相沉积的处理步骤：真空度在100Pa以下，设定升温曲线，用时2h升温至300℃，用时6h升温至900℃，用时1.5h升温至1020℃，1020℃下恒温3小时，然后通入氮气和碳源气体。

4.根据权利要求1所述的高温气体流通器的制作方法，其特征在于，所述步骤（4）气相沉积的处理步骤：采用的碳源气体为丙烷、丙烯或者天然气中的任一种。

5.根据权利要求1所述的高温气体流通器的制作方法，其特征在于，所述步骤（4）气相沉积的处理步骤：各气体的气流量为10-20m³每小时，通气保持时间为400-500小时。