[发明专利]扇出型封装结构及封装方法在审

专利信息
申请号: 202011626286.6 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112820706A 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 李尚轩 申请(专利权)人: 南通通富微电子有限公司
主分类号: H01L23/482 分类号: H01L23/482;H01L23/485;H01L23/488;H01L21/50
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 刘进
地址: 226017 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 扇出型 封装 结构 方法
【说明书】:

本申请公开了一种扇出型封装结构及封装方法,包括芯片,芯片上设置多个焊盘,第一介电层设置在芯片设有焊盘的面上,第一介电层上设有第一通孔;第二介电层设置在第一介电层上,第二介电层上设有第二通孔;重布线金属层,设置在第二介电层上且填充第一通孔和第二通孔。根据本申请实施例提供的技术方案,第一介电层设置的第一通孔可匹配芯片上较小的输入输出引脚,第二介电层设置的第二通孔可增加电流专用通量,进一步达到优化产品性能的目的,两层介电层可以消除该封装工艺中的高度限制进而达到产品的需求,同时,较高的介电层高度能够有效的保护芯片正面,避免在测试阶段时芯片接收的正面应力,使得在封装过程中实现产品的快速导入。

技术领域

发明一般涉及封装领域,尤其涉及扇出型封装结构及封装方法。

背景技术

由于轻薄短小已经成为电子消费品的发展方向,既能省掉材料及工序,又能缩少元器件尺寸的晶圆级封装工艺,已经越来越普遍了。

在封装半导体业界上,既有的FCCSP(Flip Chip Chip Scale Package,对单个的芯片进行封装)的封装工艺普遍为终端客户接受,因封装高度受到铜柱的高度限制,通常不能接受更改产品结构。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种扇出型封装结构及封装方法。

第一方面,提供一种扇出型封装结构,包括芯片,所述芯片上设置多个焊盘,所述芯片未设所述焊盘的面包覆有封装材料;

第一介电层,设置在所述芯片设有所述焊盘的面上,所述第一介电层上设有第一通孔,所述第一通孔暴露部分所述焊盘;

第二介电层,设置在所述第一介电层上,所述第二介电层上设有第二通孔,所述第二通孔暴露所述第一通孔;

重布线金属层,设置在所述第二介电层上且填充所述第一通孔和所述第二通孔;

多个锡球,间隔设置在所述重布线金属层上。

第二方面,提供一种扇出型封装方法,包括步骤:

提供一芯片,所述芯片上设置有多个焊盘;

在所述芯片设置所述焊盘的面上设有第一介电层,在所述第一介电层上开第一通孔;

在所述第一介电层上设有第二介电层,在所述第二介电层上开第二通孔;

在所述第二介电层上形成重布线金属层,所述重布线金属层填充所述第一通孔和所述第二通孔设置;

在所述重布线金属层上设置锡球。

根据本申请实施例提供的技术方案,通过在芯片上设置两层介电层,两层介电层分别设置通孔结构,第一介电层设置的第一通孔可匹配芯片上较小的输入输出引脚,第二介电层设置的第二通孔可增加电流专用通量,进一步达到优化产品性能的目的,两层介电层可以消除该封装工艺中的高度限制进而达到产品的需求,同时,较高的介电层高度能够有效的保护芯片正面,避免在测试阶段时芯片接收的正面应力,使得在封装过程中实现产品的快速导入。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本实施例中扇出型封装结构示意图;

图2为本实施例中扇出型封装方法流程图;

图3至图6为本实施例中扇出型封装过程结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明,而非对该发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与发明相关的部分。

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