[发明专利]扇出型封装结构及封装方法在审
申请号: | 202011626286.6 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN112820706A | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 李尚轩 | 申请(专利权)人: | 南通通富微电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/482 | 分类号: | H01L23/482;H01L23/485;H01L23/488;H01L21/50 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 刘进 |
地址: | 226017 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扇出型 封装 结构 方法 | ||
本申请公开了一种扇出型封装结构及封装方法,包括芯片,芯片上设置多个焊盘,第一介电层设置在芯片设有焊盘的面上,第一介电层上设有第一通孔;第二介电层设置在第一介电层上,第二介电层上设有第二通孔;重布线金属层,设置在第二介电层上且填充第一通孔和第二通孔。根据本申请实施例提供的技术方案,第一介电层设置的第一通孔可匹配芯片上较小的输入输出引脚,第二介电层设置的第二通孔可增加电流专用通量,进一步达到优化产品性能的目的,两层介电层可以消除该封装工艺中的高度限制进而达到产品的需求,同时,较高的介电层高度能够有效的保护芯片正面,避免在测试阶段时芯片接收的正面应力,使得在封装过程中实现产品的快速导入。
技术领域
本发明一般涉及封装领域,尤其涉及扇出型封装结构及封装方法。
背景技术
由于轻薄短小已经成为电子消费品的发展方向,既能省掉材料及工序,又能缩少元器件尺寸的晶圆级封装工艺,已经越来越普遍了。
在封装半导体业界上,既有的FCCSP(Flip Chip Chip Scale Package,对单个的芯片进行封装)的封装工艺普遍为终端客户接受,因封装高度受到铜柱的高度限制,通常不能接受更改产品结构。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种扇出型封装结构及封装方法。
第一方面,提供一种扇出型封装结构,包括芯片,所述芯片上设置多个焊盘,所述芯片未设所述焊盘的面包覆有封装材料;
第一介电层,设置在所述芯片设有所述焊盘的面上,所述第一介电层上设有第一通孔,所述第一通孔暴露部分所述焊盘;
第二介电层,设置在所述第一介电层上,所述第二介电层上设有第二通孔,所述第二通孔暴露所述第一通孔;
重布线金属层,设置在所述第二介电层上且填充所述第一通孔和所述第二通孔;
多个锡球,间隔设置在所述重布线金属层上。
第二方面,提供一种扇出型封装方法,包括步骤:
提供一芯片,所述芯片上设置有多个焊盘;
在所述芯片设置所述焊盘的面上设有第一介电层,在所述第一介电层上开第一通孔;
在所述第一介电层上设有第二介电层,在所述第二介电层上开第二通孔;
在所述第二介电层上形成重布线金属层,所述重布线金属层填充所述第一通孔和所述第二通孔设置;
在所述重布线金属层上设置锡球。
根据本申请实施例提供的技术方案,通过在芯片上设置两层介电层,两层介电层分别设置通孔结构,第一介电层设置的第一通孔可匹配芯片上较小的输入输出引脚,第二介电层设置的第二通孔可增加电流专用通量,进一步达到优化产品性能的目的,两层介电层可以消除该封装工艺中的高度限制进而达到产品的需求,同时,较高的介电层高度能够有效的保护芯片正面,避免在测试阶段时芯片接收的正面应力,使得在封装过程中实现产品的快速导入。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本实施例中扇出型封装结构示意图;
图2为本实施例中扇出型封装方法流程图;
图3至图6为本实施例中扇出型封装过程结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明,而非对该发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与发明相关的部分。
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