[发明专利]一种多级气体增压泵

权利要求书

1.一种多级气体增压泵，其特征在于，包括泵体(10)，所述泵体(10)内设置有两个及以上的增压腔(11)，各所述增压腔(11)依序首尾连通且各所述增压腔(11)的容积沿自首端向尾端的方向逐渐减小，泵体(10)上设置有与最首端的增压腔(11)连通的进气口(12)和与最尾端的增压腔(11)连通的出气口(13)；

各所述增压腔(11)内分别设置有一叶轮(20)，所述泵体(10)上设置有驱动装置(30)，所述驱动装置(30)用于驱动各所述叶轮(20)转动以使各所述增压腔(11)内的气体自首端向尾端流动。

2.根据权利要求1所述的一种多级气体增压泵，其特征在于，所述叶轮(20)为离心闭式叶轮(20)，包括前盖板(21)、后盖板(22)和设置在所述前盖板(21)和后盖板(22)之间的叶片(23)，所述前盖板(21)的中部设置有第一进风口(24)，叶轮(20)的侧端设置有第一出风口(25)；

各所述增压腔(11)的首端壁面的中部设置有第一通风口，尾端壁面上设置有第二通风口，各两相邻增压腔(11)通过其一增压腔(11)的第一通风口和另一增压腔(11)的第二通风口相连通；所述进气口(12)与最首端增压腔(11)的第一通风口连通，所述出气口(13)与最尾端增压腔(11)的第二通风口连通；

各所述叶轮(20)的前盖板(21)贴近该叶轮(20)所在增压腔(11)的首端内壁，且各叶轮(20)的第一进风口(24)与其所在增压腔(11)的第一通风口对齐并连通。

3.根据权利要求2所述的一种多级气体增压泵，其特征在于，所述前盖板(21)和后盖板(22)均呈圆板状，且各所述叶轮(20)的前盖板(21)的直径大于后盖板(22)的直径；所述增压腔(11)为圆盘形腔体，所述前盖板(21)的外侧缘贴近所述增压腔(11)的内侧壁。

4.根据权利要求3所述的一种多级气体增压泵，其特征在于，各所述增压腔(11)的中心轴均与一主轴线共线且各增压腔(11)沿所述主轴线依序分布，各所述叶轮(20)的中心轴均与所述主轴线共线。

5.根据权利要求4所述的一种多级气体增压泵，其特征在于，所述驱动装置(30)包括一驱动器(31)和与所述驱动器(31)连接的一驱动轴(32)，所述驱动轴(32)的中心轴与所述主轴线共线，各所述叶轮(20)均与所述驱动轴(32)连接而可随驱动轴(32)转动。

6.根据权利要求2所述的一种多级气体增压泵，其特征在于，至少一所述增压腔(11)内设置有增压件(40)，所述增压件(40)位于所述叶轮(20)的尾端与增压腔(11)的尾端内壁之间，且所述增压件(40)的首端端面贴近叶轮(20)的尾端端面，增压件(40)的尾端端面紧贴或贴近增压腔(11)的尾端内壁；所述增压件(40)的侧端设置有第二进风口(41)，尾端设置有与所述第二通风口对齐并连通的第二出风口(42)，增压件(40)内设置有将所述第二进风口(41)和第二出风口(42)连通的增压通道(43)；沿自所述第二进风口(41)向所述第二出风口(42)的方向，所述增压通道(43)的截面面积逐渐减小。

7.根据权利要求1至6任一所述的一种多级气体增压泵，其特征在于，所述增压腔(11)的数量为四个。

8.根据权利要求1至6任一所述的一种多级气体增压泵，其特征在于，所述泵体(10)上设置有进气腔(16)，所述进气口(12)经由所述进气腔(16)与最首端的增压腔(11)连通，泵体(10)上设置有用于对所述进气腔(16)内的气体进行加热的加热装置(50)。

9.根据权利要求1至6任一所述的一种多级气体增压泵，其特征在于，还包括底座(60)，所述泵体(10)和驱动装置(30)均设置在所述底座(60)上，所述底座(60)上设置有用于容纳电子元器件的容纳槽(61)和用于封闭所述容纳槽(61)的可开启的底盖(62)，所述泵体(10)与底座(60)之间设置有隔热件(63)，所述隔热件(63)将所述泵体(10)与底座(60)隔开一距离。

10.根据权利要求1至6任一所述的一种多级气体增压泵，其特征在于，所述泵体(10)上设置有用于直接检测或间接检测所述进气口(12)内气体压力大小的压力检测装置(70)；还包括控制装置，所述控制装置能够依据所述压力检测装置(70)的检测结果控制所述驱动装置(30)的输出功率大小。