[发明专利]一种可变量程电容式柔性压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种可变量程电容式柔性压力传感器，其特征在于，它包括自下而上依次设置的下电极层、柔性腔体、柔性薄膜层和上电极层，其中柔性腔体中填充电流变介质层；

所述电流变介质层为高介电材料制备的绝缘分散液；

所述柔性薄膜层的材质为柔性绝缘有机物；

所述高介电材料为C@TiO₂纳米颗粒、聚苯胺、聚二苯胺、聚吡咯、聚3,4-乙撑二氧噻吩及其衍生物中的一种或几种；

所述绝缘分散液采用的绝缘液为纯水或硅油；

所述柔性腔体的材质为柔韧性有机物；

所述上电极层和下电极层选用的材质为导电材料；

所述柔性腔体设有加注电流变介质的通孔；

通过将可变量程电容式柔性压力传感器置于外电场环境中，改变其量程；

其制备方法包括如下步骤：

1）采用印刷工艺制备柔性薄膜层；

2）采用沉积工艺在柔性薄膜层上部制备上电极层；

3）采用3D打印法或模板法制备两端带加注孔的柔性腔体，并将柔性腔体设置在柔性薄膜层的下部；

4）采用沉积工艺在柔性腔体的下部制备下电极层；

5）通过柔性腔体两端的加注孔向柔性腔体内注入电流变介质，封堵加注孔，即得所述可变量程电容式柔性压力传感器。

2.权利要求1所述可变量程电容式柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）采用印刷工艺制备柔性薄膜层；

2）采用沉积工艺在柔性薄膜层上部制备上电极层；

3）采用3D打印法或模板法制备两端带加注孔的柔性腔体，并将柔性腔体设置在柔性薄膜层的下部；

4）采用沉积工艺在柔性腔体的下部制备下电极层；

5）通过柔性腔体两端的加注孔向柔性腔体内注入电流变介质，封堵加注孔，即得所述可变量程电容式柔性压力传感器。