[发明专利]一种喷淋头用加热环

说明书

本发明公开了一种喷淋头用加热环，由供电端子为加热丝进行供电加热，并通过导热环进行热传导，实现其加热的目的。在导热环的两侧以及上方均设置阻热环，并且导热环与多个阻热环之间围成腔体，通过腔体以及阻热环的阻隔，可有效降低导热环向两侧以及上方的热传递，进而避免对喷淋头中冷却环的影响，加快喷淋头的冷却速度，由于热传递减小，其加热效率可获得显著的提升；该喷淋头用加热环，具有结构简单、设计合理、加热效率高、向冷端热传递量小等优点。

技术领域

本发明公开涉及喷淋头的技术领域，尤其涉及一种喷淋头用加热环。

背景技术

现有喷淋头主要包括：喷淋顶板、喷淋面板、冷却环、加热环以及温度传感器，其中，喷淋面板固定安装在喷淋顶板的下端端面，冷却环、加热环以及温度传感器均直接安装在喷淋顶板上。喷淋头工作时，喷淋面板会吸收加热盘的辐射热量以及RF产生的热量，喷淋面板吸收的热量流向会从中心向四周边缘扩散，并传向喷淋顶板，通过位于喷淋顶板的冷却环吸收热量。当RF射频不工作时，主要是通过加热环给整个系统提供热量，维持喷淋面板的温度平衡，一旦RF工作，加热环通过温度传感器对喷淋面板温度的检测，会适当的降低功率，维持喷淋面板温度的稳定。因此，加热环是喷淋头的重要组成部件之一。

由于在喷淋头中，加热环与冷却环相接，因此，在加热环加热的过程中，加热环会将温度传递到冷却环，导致加热环大部分热量直接被冷却环带走，加热效率大大降低，影响被加热部件的受热效果。

因此，如何研发一种加热环，有效解决热传递的问题，成为人们亟待解决的问题。

发明内容

鉴于此，本发明提供了一种喷淋头用加热环，以降低加热环对于外部的热传递。

本发明提供的技术方案，具体为，一种喷淋头用加热环，该加热环包括：导热环、加热丝、第一阻热环、第二阻热环、第三阻热环以及供电端子；

所述导热环的内部沿周向设置有加热环道；

所述加热丝沿着所述导热环中的加热环道铺设；

所述第一阻热环和所述第二阻热环分别位于所述导热环的两侧；

所述第三阻热环位于所述导热环的上方，且所述第三阻热环的底面与所述第一阻热环的上端面以及所述第二阻热环的上端面固定连接，所述第三阻热环、第一阻热环、第二阻热环以及导热环间围成腔体；

所述供电端子一端位于所述第三阻热环的上方，另一端依次穿过所述第三阻热环和所述导热环与所述加热丝电连接。

优选，所述导热环由导热材料制成。

进一步优选，所述导热材料的导热系数＞150W/(m·K)。

进一步优选，在所述导热环与所述加热丝之间设置有绝缘导热材料。

进一步优选，所述第一阻热环、第二阻热环以及第三阻热环均是由Incnel718材料制成。

进一步优选，在所述第三阻热环的上表面同心间隔设置有第一O型圈沟槽和第二O型圈沟槽。

本发明提供的喷淋头用加热环，由供电端子为加热丝进行供电加热，并通过导热环进行热传导，实现其加热的目的。在导热环的两侧以及上方均设置阻热环，并且导热环与多个阻热环之间围成腔体，通过腔体以及阻热环的阻隔，可有效降低导热环向两侧以及上方的热传递，减少加热环热量通过冷却环的损失，由于热传递减小，其加热效率可获得显著的提升。

本发明提供的喷淋头用加热环，具有结构简单、设计合理、加热效率高、向冷端热传递量小等优点。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明的公开。

附图说明