[发明专利]用于晶体生长设备的坩埚升降机构和晶体生长设备

权利要求书

1.一种用于晶体生长设备的坩埚升降机构(100)，其特征在于，所述晶体生长设备包括坩埚，所述坩埚升降机构(100)包括：

坩埚轴(1)，所述坩埚适于安装在所述坩埚轴(1)上，所述坩埚轴(1)用于驱动所述坩埚上下移动和驱动所述坩埚绕所述坩埚轴(1)的中心轴线转动；

称重组件(2)，所述称重组件(2)与所述坩埚轴(1)配合，且用于称量所述坩埚轴(1)上的承载重量并输出称重信息；

调节组件(3)，所述调节组件(3)连接所述坩埚轴(1)和所述称重组件(2)，且用于调整所述坩埚轴(1)和所述称重组件(2)在所述坩埚轴(1)的轴向上的相互作用力，所述调节组件(3)包括连接件(31)和调节件(32)，所述连接件(31)连接所述坩埚轴(1)和所述称重组件(2)，所述调节件(32)设在所述坩埚轴(1)和所述称重组件(2)中的其中一个和所述连接件(31)之间，且所述调节件(32)常驱动所述坩埚轴(1)和所述称重组件(2)中的所述其中一个朝向所述坩埚轴(1)和所述称重组件(2)中的另一个的方向移动。

2.根据权利要求1所述的用于晶体生长设备的坩埚升降机构(100)，其特征在于，所述称重组件(2)包括：

滑座(21)，所述滑座(21)套设在所述坩埚轴(1)外，所述调节组件(3)连接所述滑座(21)和所述坩埚轴(1)；

称重机构(22)，所述称重机构(22)设在所述滑座(21)和所述坩埚轴(1)之间且用于称量所述坩埚轴(1)上的承载重量。

3.根据权利要求2所述的用于晶体生长设备的坩埚升降机构(100)，其特征在于，所述坩埚升降机构(100)还包括：

升降驱动组件(7)，所述升降驱动组件(7)用于通过所述滑座(21)驱动所述坩埚轴(1)上下移动。

4.根据权利要求2所述的用于晶体生长设备的坩埚升降机构(100)，其特征在于，所述坩埚轴(1)上形成有安装法兰(11)，所述滑座(21)配合在所述安装法兰(11)的下侧，所述称重机构(22)设在所述滑座(21)和所述安装法兰(11)之间，所述调节组件(3)沿所述坩埚轴(1)的轴向设置且连接所述滑座(21)和所述安装法兰(11)。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的用于晶体生长设备的坩埚升降机构(100)，其特征在于，所述连接件(31)与所述坩埚轴(1)和所述称重组件(2)中的所述另一个固定连接，且与所述坩埚轴(1)和所述称重组件(2)中的所述其中一个沿所述坩埚轴(1)的轴向滑动配合。

6.根据权利要求5所述的用于晶体生长设备的坩埚升降机构(100)，其特征在于，所述连接件(31)与所述称重组件(2)螺纹配合，所述坩埚轴(1)上形成有沿所述坩埚轴(1)的轴向延伸的安装孔(11a)，所述连接件(31)可移动地穿设于所述安装孔(11a)，所述调节件(32)设在所述坩埚轴(1)和所述连接件(31)之间，且常驱动所述坩埚轴(1)朝向所述称重组件(2)的方向移动。

7.根据权利要求6所述的用于晶体生长设备的坩埚升降机构(100)，其特征在于，所述安装孔(11a)的远离所述称重组件(2)的一端设有端盖(33)，所述端盖(33)封闭所述安装孔(11a)。

8.根据权利要求6所述的用于晶体生长设备的坩埚升降机构(100)，其特征在于，所述调节件(32)套设在所述连接件(31)外，所述连接件(31)的远离所述称重组件(2)的一端具有止挡凸起(31a)，所述调节件(32)止抵在所述止挡凸起(31a)和所述坩埚轴(1)之间。

9.根据权利要求8所述的用于晶体生长设备的坩埚升降机构(100)，其特征在于，所述调节件(32)为压簧。