[发明专利]一种MOSFET等效阻抗自动测试装置及分选装置

权利要求书

1.一种MOSFET等效阻抗自动测试装置，其特征在于，包括工业计算机、硬件控制器、高压发生器、LCR数字电桥、信号切换矩阵、测试夹具；其中，

测试夹具用于连接待测的MOSFET，并提供3对测试端子：测试端子GS和GF连接MOSFET的G极，测试SS和SF连接MOSFET的S极，测试端子DS和DF连接MOSFET的D极；

LCR数字电桥具有两对端子，第一对为Hc和Hp，第二对为Lc和Lp；

工业计算机生成测量不同MOSFET参数的控制指令下发给硬件控制器，并接收LCR数字电桥测得的参数结果，包括：

硬件控制器根据控制指令驱动高压发生器生成相应的偏置电压；

信号切换矩阵作为LCR数字电桥与测试端子之间的选通开关器件，通过检测偏置电压，切换LCR数字电桥的端子与测试端子之间的连接关系，以测试出输入电容Ciss、输出电容Coss、反向传输电容Crss和G极与S极之间的等效串联电阻Rgs；所述信号切换矩阵包括偏置电压检测电路、继电器控制电路及连接在LCR数字电桥端子与测试端子之间的继电器；偏置电压检测电路用于检测高压发生器生成的偏置电压，并生成对应检测结果的电平信号，然后将电平信号反馈至继电器控制电路，触发继电器控制电路驱动相应的继电器吸合或断开，以切换LCR数字电桥的端子与测试端子之间的连接关系；

测量Ciss时，工业计算机向硬件控制器发送测量Ciss命令，硬件控制器控制高压发生器输出设定的偏置电压给信号切换矩阵，信号切换矩阵通过控制内部继电器把Hc与GF相连、Hp与GS相连、Lc与SF相连、Lc与SS相连，工业计算机读取LCR数字电桥的测量值并保存，这个测量值就是Ciss；

测量Coss时，工业计算机向与硬件控制器发送测量Coss命令，硬件控制器控制高压发生器输出设定的偏置电压给信号切换矩阵，信号切换矩阵通过控制内部继电器把Hc与DF耦合相连、Hp与DS耦合相连、Lc与SF相连、Lp与SS相连，GF与SF相连、GS与SS相连，工业计算机读取LCR数字电桥的测量值并保存，这个测量值就是Coss；

测量Crss时，工业计算机向与硬件控制器发送测量Crss命令，硬件控制器控制高压发生器输出设定的偏置电压给信号切换矩阵，信号切换矩阵通过控制内部继电器把Hc与DF耦合相连、Hp与DS耦合相连、Lc与GF相连、Lp与GS相连，工业计算机读取LCR数字电桥测量值并保存，测量的电容分量值即为Crss；

测量Rgs时，工业计算机向硬件控制器发送测量Rgs命令，硬件控制器控制高压发生器输出设定的偏置电压给信号切换矩阵，信号切换矩阵通过控制内部继电器把Hc与GF相连、Hp与GS相连、Lc与SF相连、Lc与SS相连，如果配置为DS短路模式则DS与SS相连,DF与SF相连，反之则DS与SS断开、DF与SF断开，工业计算机读取LCR数字电桥测量值并保存，测量的电阻分量值即为Rgs。

2.根据权利要求1所述的一种MOSFET等效阻抗自动测试装置，其特征在于，所述工业计算机通过通讯总线连接硬件控制器和LCR数字电桥。

3.根据权利要求1所述的一种MOSFET等效阻抗自动测试装置，其特征在于，所述工业计算机还通过配置LCR数字电桥的内部参数，实现不同器件的测量。

4.一种分选装置，用于基于MOSFET等效阻抗测试结果分选出不合格的MOSFET，其特征在于，包括分选机和权利要求1至3任意一项所述的MOSFET等效阻抗自动测试装置；其中，测试夹具安装在分选机上，连接分选机抓取的MOSFET；工业计算机内设置对应不同MOSFET参数的良品指标并存储有用于实现次品分选的计算机程序，当所述计算机程序被执行时，工业计算机将LCR数字电桥的测量结果与相应良品指标对于，当测量结果不符合良品指标时，判定当前测试的MOSFET为次品，并通过硬件控制器发送一个次品判决信号给分选机。