[发明专利]红外传递函数测量仪的装调方法

权利要求书

1.一种红外传递函数测量仪的装调方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1将干涉仪主体、球面标准镜、标准平面镜、非球面镜、折转镜装调为自准直光路；

S2粗调所述干涉仪主体的空间位置、所述标准平面镜俯仰及偏摆的两维角度，所述干涉仪主体测试所述非球面镜的MTF和波像差；

S3精调所述折转镜俯仰及偏摆的两维角度、所述干涉仪主体的高低及左右位置；

S4将目标发生器安装到所述干涉仪主体的焦点位置；

S5精确调整所述目标发生器位置，使所述目标发生器中的目标靶板的干涉图中的离焦距不高于0.01λ，其中λ＝632.8nm；

S6将像分析器放入所述自准直光路中，调整所述像分析器位置使所述像分析器对所述非球面镜发出的平行光束进行成像；

S7将目标靶板安装在所述球面标准镜的焦点处；

S8计算自准直光路的装调偏差，计算公式如下：

ε_z＝8(F^#)²×ΔW_defous (2)

其中，F^#为非球面镜的相对口径的倒数，D为非球面镜的口径，f′为非球面镜的焦距，ΔW_defous为干涉仪主体测得的非球面镜的离焦量，ε_z为红外传递函数测量仪焦面的装调偏差；

S9输出非球面镜的MTF和波像差、红外传递函数测量仪焦面的装调偏差，作为干涉仪主体工作时的计量校准数据。

2.根据权利要求1所述的红外传递函数测量仪的装调方法，其特征在于，干涉仪主体产生口径为9mm的平面波。

3.根据权利要求1所述的红外传递函数测量仪的装调方法，其特征在于，

所述自准直光路为设置在所述干涉仪主体正下方的球面标准镜、所述球面标准镜正下方设有与水平面呈一定角度的折返镜、所述折返镜与所述球面标准镜之间设有用于接收所述折返镜发出光束的非球面镜、所述非球面镜的同等高度上设有用于接收其发出的光线的标准平面镜。

4.根据权利要求3所述的红外传递函数测量仪的装调方法，其特征在于，所述像分析器设置在所述非球面镜出射光光轴上。

5.根据权利要求4所述的红外传递函数测量仪的装调方法，其特征在于，所述像分析器设置在所述非球面镜和所述标准平面镜之间。

6.根据权利要求3所述的红外传递函数测量仪的装调方法，其特征在于，所述标准平面镜接收到光束之后会将光束按原路返回，所述原路返回为光束依次经过所述非球面镜、折返镜、球面标准镜、干涉仪主体，所述干涉仪主体中的探测器进行成像。