[发明专利]一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置和方法

说明书

本发明涉及一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置和方法，其包括：激光器，其用于产生并输出激光光束；振镜，其用于对激光器输出的激光光束进行偏转；透镜组以及聚焦镜组，从振镜中射出的激光光束经透镜组改变角度后进入聚焦镜组，所述聚焦镜组对激光光束进行处理，使得从聚焦镜组中射出的激光光束具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除。本发明通过对激光进行偏转，使其直接作用于滤波器孔状结构内壁，以实现孔状结构内壁镀层的去除，以此提高去除效率。

技术领域

本发明涉及光电元器件制造领域，尤其涉及一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置和方法。

背景技术

滤波器是基站射频核心部件，其主要功能是使特定频率的信号通过，而极大地衰减其他频率的信号。目前的滤波器主要有三大类：金属同轴腔体、陶瓷介质谐振和陶瓷介质。其中，随着5G技术的发展和不断深化，陶瓷介质类由于其体积小、Q值高、插损低、稳定性好、承受功率高等优点逐渐成为主流。

但是由于陶瓷本身不导电，需要对其进行金属化处理才能使其具备滤波器的功能，主要包括喷银、浸银、丝网印刷等方法。基于加工效率的因素，对陶瓷介质滤波器的金属化往往是整体的，这就导致滤波器上的孔状结构，如通孔和盲孔的内壁上也附着有金属层，其会极大地影响产品的性能。为提高滤波性能，则需要对这些孔内壁的镀金属层进行去除。传统的做法是利用人工对孔内壁上的金属层进行打磨，但该种方法效率低、劳动强度大且不利于批量化生产。

由此，申请号为2019103105258的发明专利提供了一种去滤波器镀层的激光加工设备。但由于激光射出方向是垂直向下且不可变的，因此该设备仅能对俯面的金属材料进行去除，如需要去除侧壁孔状结构内壁的金属材料，则只能通过多次平移旋转四轴运动模组，从而将侧壁暴露在俯面才能进一步通过激光去除，其同样会导致设备加工效率低，稳定性无法保证，而且四轴运动模组笨重又不实用，还会增加额外的成本。

发明内容

本发明的目的是提供一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置和方法，其通过对激光进行偏转，使其直接作用于滤波器孔状结构内壁，以实现孔状结构内壁镀层的去除，以此提高去除效率。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一方面，提供了一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置，其包括：

激光器，其用于产生并输出激光光束；

振镜，其用于对激光器输出的激光光束进行偏转；

透镜组以及聚焦镜组，从振镜中射出的激光光束经透镜组改变角度后进入聚焦镜组，所述聚焦镜组对激光光束进行处理，使得从聚焦镜组中射出的激光光束具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除。

优选的，所述倾角θ满足条件：30°≤θ≤60°。

优选的，所述振镜输出的激光光束的光轴与透镜组、聚焦镜组的中心轴重合。

优选的，所述滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置还包括：第一运动模组，其连接所述振镜，用于带动振镜沿从振镜中输出的激光光束的光轴移动。

优选的，所述透镜组包括：位于入射端的平凸透镜和位于出射端的平凹透镜，且所述平凸透镜和平凹透镜的光轴重合。

优选的，所述滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置还包括：第二运动模组，其连接所述平凸透镜和/或平凹透镜，用于带动所述平凸透镜和/或平凹透镜沿从振镜中射出的激光光束的光轴移动，使得所述平凸透镜、平凹透镜发生相对运动。

优选的，所述聚焦镜组包括：沿入射端至出射端方向依次设置的第一双凸透镜、第二双凸透镜、第一弯月透镜、第二弯月透镜及保护镜片。

优选的，所述滤波器孔状结构包括开设在陶瓷介质滤波器侧壁上的盲孔和/或通孔。