[发明专利]应力隔离结构、微机械检测结构及MEMS惯性测量器件有效
申请号: | 202011634821.2 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112816736B | 公开(公告)日: | 2022-10-25 |
发明(设计)人: | 陈鹏旭;杨拥军;任臣;徐淑静 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | G01P15/08 | 分类号: | G01P15/08;G01P15/125 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 魏笑 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 应力 隔离 结构 微机 检测 mems 惯性 测量 器件 | ||
1.应力隔离结构,其特征在于,包括锚点,所述锚点上设有第一应力释放缺口;
所述锚点包括固定部和悬置部,所述固定部位于中央并用于固设在衬底上,所述悬置部呈环形并位于所述固定部外围,所述悬置部连接在所述固定部上,所述固定部和悬置部之间的空隙形成所述第一应力释放缺口;
所述锚点上连接有应力释放梁,所述应力释放梁沿敏感轴方向延伸,并且在延伸方向设有若干个第二应力释放缺口;所述应力释放梁用于连接锚点和弹性梁并释放应力;
所述第二应力释放缺口呈长条形且沿垂直于敏感轴的方向延伸。
2.如权利要求1所述的应力隔离结构,其特征在于,所述悬置部为矩形结构且包括相互垂直的第一边框和第二边框,所述应力释放梁垂直连接在所述第一边框的外壁上,所述固定部通过若干个连接块连接所述第二边框的内壁,实现所述固定部和悬置部的连接。
3.如权利要求2所述的应力隔离结构,其特征在于,所述应力释放梁的数量为四个且分别连接所述第一边框,四个所述应力释放梁以所述锚点为中心对称分布。
4.如权利要求2所述的应力隔离结构,其特征在于,所述第一应力释放缺口包括与所述第一边框平行的第一矩形孔和与所述第二边框平行的第二矩形孔,所述第二矩形孔位于两个所述连接块之间。
5.微机械检测结构,其特征在于,包括权利要求1至4任一项所述的应力隔离结构,所述微机械检测结构还包括:
弹性梁,垂直于所述应力释放梁,所述弹性梁的一端固连所述应力释放梁的伸出端,所述弹性梁的预设变形方向与敏感轴方向一致;
有效质量,通过所述弹性梁连接所述锚点,所述弹性梁的另一端固连所述有效质量,所述有效质量上设有止挡块,所述止挡块与所述应力释放梁的伸出端相对设置;
活动极板,连接在所述有效质量上,随所述有效质量移动;以及
固定极板,用于固连在衬底上,所述固定极板与所述活动极板相对设置,构成电容单元。
6.如权利要求5所述的微机械检测结构,其特征在于,所述有效质量上设有第三应力释放缺口,所述第三应力释放缺口位于所述弹性梁和有效质量的连接处。
7.MEMS惯性测量器件,其特征在于,包括权利要求5或6所述的微机械检测结构。
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