[发明专利]MEMS扫描镜及激光投影仪

权利要求书

1.一种MEMS扫描镜，包括反射镜、角度传感器、控制单元和用作悬臂的致动器，所述致动器用于根据所述控制单元的控制使所述反射镜绕第一旋转轴旋转，所述角度传感器用于感测反射镜绕所述第一旋转轴旋转的偏转角度并向所述控制单元输出信号，其特征在于，所述控制单元包括驱动器和电荷读出电路，所述电荷读出电路用于根据来自所述角度传感器的输出向所述驱动器输出恒定电压信号；

所述电荷读出电路包括反向放大器和与所述反向放大器并联的阻抗；其中，电荷读出电路可与低电阻连接。

2.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜，其特征在于，所述驱动器用于根据来自所述电荷读出电路的恒定电压信号输出来控制施加到所述致动器的驱动电压或驱动频率。

3.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜，其特征在于，所述致动器为压电致动器。

4.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜，其特征在于，所述致动器为外部致动器，该MEMS扫描镜还包括用于支撑所述反射镜的可动支撑件。

5.根据权利要求4所述的MEMS扫描镜，其特征在于，所述外部致动器形成弯曲形悬臂。

6.根据权利要求4所述的MEMS扫描镜，其特征在于，所述可动支撑件包括用于支撑所述反射镜的扭杆，该MEMS扫描镜还包括用作悬臂的内部致动器，所述内部致动器用于通过所述扭杆使所述反射镜绕第二旋转轴旋转。

7.一种激光投影仪，其特征在于，包括如权利要求1-6中任一项所述的MEMS扫描镜。