[发明专利]一种超精镜面加工工艺

权利要求书

1.一种超精镜面加工工艺，其特征在于，在机床上设置浮动夹具实现工件的夹持固定，进行工件的磨削加工，包括以下步骤：

s1、进行工件端面磨削加工，

（1）粗磨，采用粒度为60的砂轮，以2000-2500r/min的磨削转速、150-200mm/min的进给速度、0.1mm的进给量进行粗磨，使工件端面的加工精度达到0.1mm以上；

（2）精磨，采用粒度为100的砂轮，以2000-2500r/min的磨削转速、150-200mm/min的进给速度、0.05mm的进给量进行精磨，使工件端面的加工精度达到0.02mm以上；

（3）超精磨，采用粒度为240的砂轮，以2500-3000r/min的磨削转速、100-150mm/min的进给速度、0.02mm的进给量进行超精磨，使工件端面的加工精度为0.002mm、光洁度为R0.1以上；

s2、进行工件内孔磨削加工，

（1）粗磨，控制工件的转速为100-200r/min，采用粒度为60的砂轮，以4000-4500r/min磨削转速、150-200mm/min的进给速度、0.05mm的单边进给量进行粗磨，使工件内孔的加工精度达到0.03mm以上；

（2）精磨，控制工件的转速为100-200r/min，采用粒度为100的砂轮，以4000-5000r/min的磨削转速、150-200mm/min的进给速度、0.02mm的单边进给量进行精磨，使工件内孔的加工精度达到0.01mm以上；

（3）超精磨，控制工件的转速为200-400r/min，采用粒度为240的砂轮，以8000-10000r/min的磨削转速、100-150mm/min的进给速度、0.01mm的单边进给量进行超精磨，使工件内孔的加工精度为0.001mm、光洁度为R0.1以上。

2.根据权利要求1所述的超精镜面加工工艺，其特征在于：在进行工件端面磨削加工时，至少进行两次粗磨加工；在进行工件内孔磨削加工中时，至少进行三次粗磨加工。

3.根据权利要求1所述的超精镜面加工工艺，其特征在于：在进行工件端面磨削加工时，至少进行三次精磨加工；在进行工件内孔磨削加工中时，至少进行三次精磨加工。

4.根据权利要求1所述的超精镜面加工工艺，其特征在于：在进行工件端面磨削加工时，至少进行三次超精磨加工；在进行工件内孔磨削加工中时，至少进行三次超精磨加工。

5.根据权利要求4所述的超精镜面加工工艺，其特征在于：在工件端面磨削加工和工件内孔磨削加工中，超精磨时采用的砂轮为内冷式砂轮。