[发明专利]一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法

权利要求书

1.一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法，其特征在于：具体步骤如下：

第一步：将洁净衬底(3)置于微立体光刻3D打印系统的打印平台上并固定，然后用可溶性光敏树脂作为3D打印材料，在洁净衬底(3)上打印具有沟槽结构(1)的可溶性光敏树脂模具(2)；

第二步：使用医用刮刀将导电浆料刮入可溶性光敏树脂模具(2)的沟槽结构(1)中，填满沟槽，然后将其置于60-80℃烘台上加热5-15分钟，固化导电浆料，形成嵌入在可溶性光敏树脂模具(2)中的导电网络(4)；

第三步：将第二步中内部形成了导电网络(4)的可溶性光敏树脂模具(2)置于质量浓度1-3％的NaOH溶液中，浸泡1.5-2.5h，溶解可溶性光敏树脂模具(2)，得到裸露在洁净衬底(3)表面的导电网络(4)，用去离子水轻轻冲洗残余的NaOH溶液后，置于60-80℃的烘台上加热5-15分钟烘干导电网络(4)；

第四步：将第三步中得到的具有导电网络(4)的洁净衬底(3)置于匀胶机上旋涂3-5ml柔性透明聚合物(5)，旋涂参数为低速600-700rad/min，10-12s，高速1000-1200rad/min，30-40s，然后置于真空干燥箱中抽真空10-15分钟，使导电网络(4)完全嵌入在柔性透明聚合物(5)中，再置于75-85℃的真空干燥箱中加热1-2h固化柔性透明聚合物(5)；

第五步：将第四步中得到的固化的柔性透明聚合物(5)从洁净衬底(3)上揭下，其中导电网络(4)完全嵌入在柔性透明聚合物(5)中，伴随柔性透明聚合物(5)一起从洁净衬底(3)上揭下，形成了柔性透明导电薄膜(6)。

2.根据权利要求1所述的一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法，其特征在于：所述的第一步中洁净衬底(3)为刚性洁净衬底，包括硅片。

3.根据权利要求1所述的一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法，其特征在于：所述的第一步中沟槽结构(1)的形状结构通过用于微立体光刻技术的模型自由设计构建。

4.根据权利要求1所述的一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法，其特征在于：所述的第二步中用于刮涂的导电浆料包括碳纳米管溶液、石墨烯溶液、导电银浆或液态金属。

5.根据权利要求1所述的一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法，其特征在于：所述的第四步中柔性透明聚合物(5)为能通过交联反应从液态固化为固态，且固化后具有透明、柔性性质的聚合物，包括聚二甲基硅氧烷。