[发明专利]一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备在审
申请号: | 202011640590.6 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112779539A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 钱超;杨柯;牛恩众;余强根 | 申请(专利权)人: | 常州高光半导体材料有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08;C25F7/00 |
代理公司: | 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 | 代理人: | 梁国海 |
地址: | 213311 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 穿戴 金属 掩膜版用 蚀刻 设备 | ||
1.一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定安装有作业池(3),所述作业池(3)顶部的两侧均固定安装有第一导轨(6),所述第一导轨(6)的外部活动套接有第一电动导轨(5),所述第一电动导轨(5)的相对侧固定安装有折板(4),所述折板(4)的另一端固定安装有安装板(12),所述第一导轨(6)的一侧开设有插销孔(13),所述插销孔(13)的内部活动安装有销轴(17),所述底板(1)顶部的两侧均开设有滑槽(14),所述滑槽(14)的内部活动安装有滑块(16),所述滑块(16)的顶部固定安装有第一伸缩柱(15),所述第一伸缩柱(15)的顶部铰接有第二导轨(11),所述第二导轨(11)的外侧活动套接有第二电动导轨(8),所述第二电动导轨(8)的底部固定安装有激光打印器(9),所述激光打印器(9)的底部活动安装有激光发射头(20),所述底板(1)的顶部固定安装有第二伸缩柱(22),所述第二伸缩柱(22)的顶部铰接有转板(10),所述转板(10)的一侧固定安装有拉伸弹簧(23),所述拉伸弹簧(23)的另一端固定安装有吸盘(21)。
2.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述安装板(12)的内部开设有蚀刻板槽(2)。
3.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述安装板(12)的顶部开设有凹槽(19)。
4.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述滑块(16)的规格尺寸与滑槽(14)的规格尺寸相适配。
5.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述销轴(17)的规格尺寸与插销孔(13)的规格尺寸相适配。
6.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述作业池(3)的一侧开设有排水口。
7.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述作业池(3)底部活动安装有第一通电柱(18)和第二通电柱(24),且第一通电柱(18)和第二通电柱(24)分别位于作业池(3)两侧的对角线位置。
8.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述底板(1)的顶部固定安装有控制箱(7),所述控制箱(7)的一侧设置有数据输入口。
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