[发明专利]一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备在审

专利信息
申请号: 202011640590.6 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112779539A 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 钱超;杨柯;牛恩众;余强根 申请(专利权)人: 常州高光半导体材料有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08;C25F7/00
代理公司: 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 代理人: 梁国海
地址: 213311 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 穿戴 金属 掩膜版用 蚀刻 设备
【权利要求书】:

1.一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定安装有作业池(3),所述作业池(3)顶部的两侧均固定安装有第一导轨(6),所述第一导轨(6)的外部活动套接有第一电动导轨(5),所述第一电动导轨(5)的相对侧固定安装有折板(4),所述折板(4)的另一端固定安装有安装板(12),所述第一导轨(6)的一侧开设有插销孔(13),所述插销孔(13)的内部活动安装有销轴(17),所述底板(1)顶部的两侧均开设有滑槽(14),所述滑槽(14)的内部活动安装有滑块(16),所述滑块(16)的顶部固定安装有第一伸缩柱(15),所述第一伸缩柱(15)的顶部铰接有第二导轨(11),所述第二导轨(11)的外侧活动套接有第二电动导轨(8),所述第二电动导轨(8)的底部固定安装有激光打印器(9),所述激光打印器(9)的底部活动安装有激光发射头(20),所述底板(1)的顶部固定安装有第二伸缩柱(22),所述第二伸缩柱(22)的顶部铰接有转板(10),所述转板(10)的一侧固定安装有拉伸弹簧(23),所述拉伸弹簧(23)的另一端固定安装有吸盘(21)。

2.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述安装板(12)的内部开设有蚀刻板槽(2)。

3.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述安装板(12)的顶部开设有凹槽(19)。

4.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述滑块(16)的规格尺寸与滑槽(14)的规格尺寸相适配。

5.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述销轴(17)的规格尺寸与插销孔(13)的规格尺寸相适配。

6.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述作业池(3)的一侧开设有排水口。

7.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述作业池(3)底部活动安装有第一通电柱(18)和第二通电柱(24),且第一通电柱(18)和第二通电柱(24)分别位于作业池(3)两侧的对角线位置。

8.根据权利要求1所述的一种穿戴式金属掩膜版用蚀刻设备,其特征在于:所述底板(1)的顶部固定安装有控制箱(7),所述控制箱(7)的一侧设置有数据输入口。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州高光半导体材料有限公司,未经常州高光半导体材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011640590.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top