[发明专利]射频产生电路、装置和方法

权利要求书

1.一种射频产生电路，其特征在于，包括：

方波发生模块、控制模块、供电模块、射频发生模块和检测模块；

所述控制模块连接所述方波发生模块、所述供电模块和所述检测模块，所述射频发生模块连接所述供电模块和所述方波发生模块；

所述控制模块控制所述方波发生模块输出方波信号，以及控制所述供电模块输出达到预设可调范围的宽电压信号，所述方波信号和所述宽电压信号经过所述射频发生模块的处理，向负载端输出射频信号；

所述检测模块检测所述负载端的电信号参数值，并将所述电信号参数值发送给所述控制模块，所述控制模块根据所述电信号参数值控制所述供电模块调整所述宽电压信号的电压值，使得输出的射频信号功率为预设值；

其中，所述方波发生模块包括：第一脉宽调制器和第二脉宽调制器；

所述第一脉宽调制器和所述第二脉宽调制器均与所述控制模块连接，在所述控制模块的控制下分别发出相位相反的第一方波信号和第二方波信号；

其中，所述电信号参数包括：电阻值，或，电压值和电流值；

所述控制模块根据所述电信号参数值控制所述供电模块调整所述宽电压信号的电压值，使得输出的射频信号功率为预设值，包括：

所述控制模块根据所述电阻值、预设的功率计算公式，计算输出所述射频信号功率为所述预设值对应的电压值，或，所述控制模块根据所述电流值和所述电压值、预设的电阻计算公式和预设的功率计算公式，计算输出所述射频信号功率为所述预设值对应的电压值；

控制所述供电模块调整所述宽电压信号的电压值为计算得到的所述预设值对应的电压值，使得输出的射频信号功率为所述预设值。

2.根据权利要求1所述的射频产生电路，其特征在于，所述射频发生模块包括：射频变压器、第一场效应管、第二场效应管、第一电容和第二电容；

所述射频变压器包括第一输入回路和第二输入回路组成的原边，所述第一输入回路和所述第二输入回路的开断时间相反，绕组方向相反；

所述第一场效应管的栅极连接所述第一脉宽调制器，漏极连接所述第一电容的一端和所述第一输入回路，源极接地以及连接所述第一电容的另一端；

所述第二场效应管的栅极连接所述第二脉宽调制器，漏极连接所述第二电容的一端和所述第二输入回路，源极接地以及连接所述第二电容的另一端。

3.根据权利要求2所述的射频产生电路，其特征在于，所述控制模块包括：微控制单元和数模转换器；

所述微控制单元连接所述检测模块以及所述数模转换器，所述数模转换器还连接所述供电模块的输出电压控制端。

4.根据权利要求3所述的射频产生电路，其特征在于，所述射频产生电路还包括：使能模块和电平转换模块；

所述使能模块连接所述控制模块、所述方波发生模块和所述电平转换模块；

所述电平转换模块还连接所述射频发生模块。

5.根据权利要求4所述的射频产生电路，其特征在于，所述使能模块包括第一使能芯片和第二使能芯片，所述电平转换模块包括第一栅极驱动器和第二栅极驱动器；

所述第一使能芯片连接所述微控制单元、所述第一脉宽调制器以及第一栅极驱动器，所述第一栅极驱动器还连接所述第一场效应管的栅极；

所述第二使能芯片连接所述微控制单元、所述第二脉宽调制器以及第二栅极驱动器，所述第二栅极驱动器还连接所述第二场效应管的栅极。

6.一种射频产生装置，其特征在于，包括如权利要求1～5任一项所述的射频产生电路。