[发明专利]硝基苯甲醇磺酸酯化合物作为增速剂在光刻胶中的应用、用于制备光刻胶的组合物

权利要求书

1.一种硝基苯甲醇磺酸酯化合物作为增速剂在光刻胶中的应用，其特征在于，所述硝基苯甲醇磺酸酯化合物的结构式如下：

其中，R₁选自氢、卤素、氰基、C_1～20烷基、C_1～20的烷氧基或C_1～20的卤代烷基；

R₂选自氢、卤素、氰基、C_1～20烷基、C_1～20的烷氧基或C_1～20的卤代烷基；

R₃选自氢、卤素、氰基、C_1～20烷基、C_1～20环烷基、C_1～20的烷氧基、C_1～20的卤代烷基、C_1～20稀基或C_1～20酮基；

所述光刻胶包括酚醛树脂-重氮奈醌型光刻胶和化学放大光刻胶。

2.根据权利要求1所述的硝基苯甲醇磺酸酯化合物作为增速剂在光刻胶中的应用，其特征在于，所述R₁选自氢、卤素、C_1～10烷基、C_1～10的烷氧基或C_1～10的卤代烷基；

所述R₂选自氢、卤素、C_1～10烷基、C_1～10的烷氧基或C_1～10的卤代烷基；

所述R₃选自氢、卤素、C_1～10烷基、C_1～10环烷基、C_1～10的烷氧基、C_1～10的卤代烷基、C_1～10稀基或C_1～10酮基。

3.根据权利要求1所述的硝基苯甲醇磺酸酯化合物作为增速剂在光刻胶中的应用，其特征在于，所述R₁选自氢或卤素，所述R₂选自氢、卤素或C_1～10烷基，所述R₃选自C_1～10的氟代烷基或C_1～10酮基。

4.根据权利要求1所述的硝基苯甲醇磺酸酯化合物作为增速剂在光刻胶中的应用，其特征在于，所述硝基苯甲醇磺酸酯化合物为4-硝基苯甲醇三氟甲基磺酸酯、4-硝基苯甲醇全氟丁基磺酸酯、3-氯4-硝基苯甲醇全氟丁基磺酸酯或4-氟-3-硝基苯甲酸樟脑磺酸酯。

5.根据权利要求1～4任一项所述的硝基苯甲醇磺酸酯化合物作为增速剂在光刻胶中的应用，其特征在于，所述硝基苯甲醇磺酸酯化合物在光刻胶中的添加量为所述光刻胶的固体物质的0.1～10wt％；

可选地，所述硝基苯甲醇磺酸酯化合物在光刻胶中的添加量为所述光刻胶的固体物质的0.1～5wt％。

6.一种用于制备光刻胶的组合物，其特征在于，所述用于制备光刻胶的组合物包括第一固体物质和溶剂，所述第一固体物质包括酚醛树脂、感光剂、酸淬灭剂和增速剂；

所述增速剂的结构式如下：

其中，R₁选自氢、卤素、氰基、C_1～20烷基、C_1～20的烷氧基或C_1～20的卤代烷基；

R₂选自氢、卤素、氰基、C_1～20烷基、C_1～20的烷氧基或C_1～20的卤代烷基；

R₃选自氢、卤素、氰基、C_1～20烷基、C_1～20环烷基、C_1～20的烷氧基、C_1～20的卤代烷基或C_1～20稀基。