[发明专利]碳化硅衬底蚀刻治具

权利要求书

1.一种碳化硅衬底蚀刻治具，其特征在于，包括多个容置盘(11)和转轴(12)；

所述容置盘(11)用于容置碳化硅衬底；

多个所述容置盘(11)依次层叠设置，所述转轴(12)与多个所述容置盘(11)转动连接，且任意一个所述容置盘(11)均能够独立绕所述转轴(12)转动。

2.根据权利要求1所述的碳化硅衬底蚀刻治具，其特征在于，每个所述容置盘(11)均开设有第一容置凹槽(111)，所述第一容置凹槽(111)的侧壁与所述碳化硅衬底匹配。

3.根据权利要求2所述的碳化硅衬底蚀刻治具，其特征在于，所述第一容置凹槽(111)的开口边缘上开设有一个或多个第一取放缺口(112)。

4.根据权利要求3所述的碳化硅衬底蚀刻治具，其特征在于，所述第一容置凹槽(111)的底壁开设有第二容置凹槽(114)，所述第二容置凹槽(114)也用于容置碳化硅衬底。

5.根据权利要求4所述的碳化硅衬底蚀刻治具，其特征在于，所述第二容置凹槽(114)的底壁开设有取放通孔，所述取放通孔贯穿所述第二容置凹槽(114)的底壁。

6.根据权利要求2所述的碳化硅衬底蚀刻治具，其特征在于，所述碳化硅衬底蚀刻治具(10)还包括卡扣件(13)，所述卡扣件(13)可拆卸地盖设于所述容置盘(11)，以盖住所述第一容置凹槽(111)。

7.根据权利要求6所述的碳化硅衬底蚀刻治具，其特征在于，所述第一容置凹槽(111)的开口外周位置上凸设有第一卡扣部(113)；

所述卡扣件(13)一端与所述第一容置凹槽(111)的开口外周位置转动连接，另一端可拆卸地卡接于所述第一卡扣部(113)。

8.根据权利要求7所述的碳化硅衬底蚀刻治具，其特征在于，所述卡扣件(13)上设有第二卡扣部(132)，所述第二卡扣部(132)能够在外力作用下发生弹性形变，以在所述第二卡扣部(132)沿所述容置盘(11)的径向方向向外发生弹性形变时，解除与所述第一卡扣部(113)的卡接。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的碳化硅衬底蚀刻治具，其特征在于，所述碳化硅衬底蚀刻治具(10)包括箱体(14)，所述箱体(14)上开设有取放开口(141)，所述转轴(12)与所述箱体(14)连接，多个所述容置盘(11)位于所述箱体(14)内，且能够绕所述转轴(12)转动，以经所述取放开口(141)转出所述箱体(14)。

10.根据权利要求9所述的碳化硅衬底蚀刻治具，其特征在于，所述碳化硅衬底蚀刻治具(10)还包括挡罩(15)，所述挡罩(15)可活动连接于所述箱体(14)，所述挡罩(15)能够相对于所述箱体(14)运动，以关闭或打开所述取放开口(141)。