[发明专利]一种实现大光程差、高稳定性的相干色散光谱成像方法及装置

权利要求书

1.一种实现大光程差、高稳定性的相干色散光谱成像方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、调节目标光束以平行或者会聚光进入干涉分光光路；

步骤2、将目标光束分成强度比为50:50的两路光束，调节两路光束之间的光程差，形成干涉条纹；

步骤3、将干涉条纹会聚成像到狭缝上；

步骤4、将狭缝处干涉条纹按照波长色散到光电探测器上接收。

2.根据权利要求1所述的实现大光程差、高稳定性的相干色散光谱成像方法，其特征在于：步骤2中，利用非偏振立方体分束器将目标光束分成强度比为50:50的透射光束和反射光束。

3.根据权利要求2所述的实现大光程差、高稳定性的相干色散光谱成像方法，其特征在于：步骤2中，调节非偏振立方体分束器，使得非偏振立方体分束器半透半反射层平行于目标光束的传播方向；通过调节非偏振立方体分束器半透半反射层与目标光束之间的距离，调整通过非偏振立方体分束器后的透射光束和反射光束之间的距离。

4.根据权利要求3所述的实现大光程差、高稳定性的相干色散光谱成像方法，其特征在于：步骤2中，利用光程差调节元件调节透射光束或反射光束之间的光程差。

5.根据权利要求3所述的实现大光程差、高稳定性的相干色散光谱成像方法，其特征在于：步骤4中利用色散器件先将干涉条纹整理为平行光，再按照波长色散到光电探测器上接收。

6.一种实现大光程差、高稳定性的相干色散光谱成像装置，其特征在于：包括沿光路依次设置的分束器、光程调节元件、汇聚透镜、狭缝、色散器件及光电探测器；

所述分束器用于将目标光束分成强度比为50:50的两路光束；

所述光程调节元件用于改变两路光束的光程，使得两路光束之间具有设定的光程差，形成干涉条纹；

所述汇聚透镜用于将干涉光汇聚成像到狭缝处；

所述狭缝位于色散器件的一次像面处；

所述色散器件用于将干涉条纹按照波长色散；

所述光电探测器用于接收色散器件色散后的干涉条纹信息。

7.根据权利要求6所述的实现大光程差、高稳定性的相干色散光谱成像装置，其特征在于：所述分束器为非偏振立方体分束器，非偏振立方体分束器半透半反射层平行于目标光束的传播方向，通过透射和反射将入射光束以50:50的强度分成两路光束。

8.根据权利要求7所述的实现大光程差、高稳定性的相干色散光谱成像装置，其特征在于：所述非偏振立方体分束器的入射面和出射面均镀有增透膜。

9.根据权利要求8所述的实现大光程差、高稳定性的相干色散光谱成像装置，其特征在于：所述光程调节元件，为设置在非偏振立方体分束器透射或反射光路中的棱镜或反射镜组件。

10.根据权利要求6-9任一所述的实现大光程差、高稳定性的相干色散光谱成像装置，其特征在于：所述色散器件包括沿光路依次设置的准直透镜与光栅，所述准直透镜用于将干涉条纹整理为平行光，所述光栅用于将整理后的干涉条纹按照波长色散到光电探测器上接收。